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[发明专利]冷却腔室及半导体加工设备-CN201410121213.X在审
发明人：刘菲菲 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种冷却腔室及半导体加工设备，该冷却腔室包括基座和基座冷却系统，基座设置在冷却腔室内，待冷却基片放置在基座的上表面上，借助基座冷却系统采用热传导的方式冷却基座，以实现基座采用热传导的方式冷却待冷却基片本发明提供的冷却腔室，不仅可以提高冷却效率，而且可以降低冷却成本，从而可以提高经济效益。
冷却半导体加工设备

[外观设计]机油冷却滤清模块基座-CN201930537167.5有效
发明人：崔永;赵建洲;王超;王启峰;罗国良 -专利权人：潍柴动力股份有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： 15-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：机油冷却滤清模块基座。2.本外观设计产品的用途：用于发动机油的冷却器与滤清器及各种功能阀的固定连接与装配。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
机油冷却滤清模块基座

[实用新型]一种冷却基座及半导体装置-CN202320140525.X有效
发明人：王磊;王陈烨;徐阳;黄锦辉;向仲华;王子骏;许珊珊 -专利权人：采埃孚电驱动科技（沈阳）有限公司
申请日： 2023-02-03 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L23/46 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种冷却基座及半导体装置，冷却基座包括第一基座部分和第二基座部分，第一基座部分的一侧用于安装第一功率模块，第二基座部分焊接固定在第一基座部分的另一侧，且第二基座部分远离第一基座部分的一侧用于安装第二功率模块第一基座部分和第二基座部分之间形成有分隔板以及第一冷却空间和第二冷却空间，第一冷却空间位于分隔板与第一基座部分之间，用于冷却第一功率模块；第二冷却空间位于分隔板与第二基座部分之间，且用于冷却第二功率模块由于冷却基座通过第一基座部分和第二基座部分焊接形成，结构更加简单，制成后冷却基座为一体结构，无需额外进行装配。
一种冷却基座半导体装置

[发明专利]一种光刻机的降温冷板-CN202010547471.X在审
发明人：徐俊 -专利权人：杭州易正科技有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机的降温冷板，包括圆环形的冷却基座，冷却基座上成型有若干贯穿冷却基座上、下端面的扇形槽孔，扇形槽孔靠近冷却基座中心的内壁上成型有贯穿冷却基座下端面的限位槽；冷却基座的扇形槽孔内插接有扇形的冷却板，冷却板由扇形的面板和边框组成，冷却板的边框上成型有限位支耳，限位支耳插接在冷却基座的限位槽内；所述冷却基座右侧的扇形槽孔之间成型有贯穿冷却基座外壁的进液孔，进液孔的内壁上成型有若干道与相邻两侧扇形槽孔相连通的进液槽
一种光刻降温

[实用新型]一种内置冷却回路的激光设备基座-CN202221973037.9有效
发明人：汪艳波;周旸红 -专利权人：上海劲为精密机械有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01S3/02 文献下载
摘要：本申请涉及激光设备冷却技术领域，尤其是涉及一种内置冷却回路的激光设备基座，包括上基座和固定在上基座下方的下基座，上基座底壁上开设有弯曲设置的冷却槽，且冷却槽两端不连通，冷却槽与下基座侧壁间形成冷却管路；上基座和下基座同侧侧壁上开设有进水口，进水口与冷却管路一端连通，上基座和下基座通侧侧壁上还开设有出水口，出水口与冷却管路另一端连通，进水口及出水口均与外界水管连通，本申请具有提高对激光设备内电路及元器件的冷却效率的效果
一种内置冷却回路激光设备基座

[实用新型]一种机油过滤装置-CN202221974417.4有效
发明人：朱晓明;陈卫 -专利权人：苏州达菲特过滤技术股份有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： F01M11/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种机油过滤装置，包括基座、安装在基座上的冷却器模块及安装在基座上的过滤器模块，基座安装在发动机缸体上且连接发动机缸体的一侧设有基座进油孔和基座出油孔，基座上连接冷却器模块的一侧设有冷却器进油口、冷却器出油口、冷却液进口及冷却液出口，基座连接过滤器模块的一侧设有过滤器进油孔和过滤器出油孔；基座内设有连通冷却器进油口与基座进油孔的第一油道、连通冷却器出油口与过滤器进油孔的第二油道、连通过滤器出油孔与基座出油孔的第三油道；基座上设有连通至冷却液进口的第一冷却液流道、连通至冷却液出口的第二冷却液流道；冷却液进口安装有过滤网。
一种机油过滤装置

[发明专利]腔室及半导体加工设备-CN201910186002.7在审
发明人：赵联波;王宽冒;郑金果 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供的腔室，包括腔体和设置在腔体中的工艺基座，还包括设置在腔体中的冷却基座和传输机构，其中，冷却基座用于对置于其上的晶片进行冷却，传输机构用于在工艺基座与冷却基座之间传递晶片。本发明的腔室，将工艺基座和冷却基座集成在同一个腔体中，在进行冷却工艺时，无需通入大量的气体升高腔体压力，即可在冷却基座上对晶片进行有效的冷却，维持腔体压力稳定的同时还可以保证工艺基座上一直有晶片在进行薄膜沉积工艺，因此，本发明提供的腔室提高了对晶片的冷却效率和产能，同时还提升了腔室工作状况的稳定性。
半导体加工设备

[发明专利]一种X射线准直镜热变形控制装置及方法-CN202310360130.5在审
发明人：刘佳音;秦宏亮;计展;鄢欣欣;徐彬豪;赵文斌 -专利权人：深圳综合粒子设施研究院
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G02B7/195 文献下载
摘要：本申请提供了一种X射线准直镜热变形控制装置及方法，包括反射镜；冷却基座，冷却基座上分别开设有冷却介质通道和导热调节槽；冷却介质，设于反射镜与冷却基座之间；固定组件，与冷却基座相连接。通过冷却基座经由冷却介质来降低接触热阻，可实现反射镜与冷却介质之间的高效间接热交换；通过在冷却基座上分别开设冷却介质通道和导热调节槽，且将冷却介质、导热调节槽和冷却介质通道在沿反射镜朝冷却基座的热传递方向上依次设置在反射镜通过冷却基座与冷却介质之间进行热交换的过程中，导热调节槽可调节换热路径上的热阻分布，调控反射镜表面的温度分布，从而实现对反射镜表面的热变形精确控制，有效提升反射镜在高热负载下的面形精度。
一种射线准直镜热变形控制装置方法

[实用新型]一种塑胶生产用冷却设备-CN202020366270.5有效
发明人：施文俊;游阳杰 -专利权人：苏州牧野精密电子科技有限公司
申请日： 2020-03-21 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： B29C48/885 文献下载
摘要：本实用新型公开了塑料加工技术领域的一种塑胶生产用冷却设备，包括设备本体，所述设备本体底部设有下冷却基座，所述下冷却基座上表面设有多个冷却辊，所述设备本体顶部设有上冷却基座，所述下冷却基座和上冷却基座之间的前端设有冷却仓，所述上冷却基座前端面靠后的两侧均固定连接有液压杆，两个所述液压杆底部之间设有横架，所述横架的前端面设有多个第一转轴，多个所述第一转轴的前端面均套有冷却滚筒，所述上冷却基座顶部前端面设有喷水箱，所述喷水箱底部设有多个喷嘴，通过冷却滚筒可以对刚成型的塑料膜进行热传递冷却，并利用喷嘴对塑料膜和冷却滚筒进行来冷却，进一步的提高冷却效果，且使冷却滚筒可以长时间的进行冷却工作。
一种塑胶生产冷却设备

[实用新型]一种凸焊机下电极冷却装置-CN202320739357.6有效
发明人：曹杰 -专利权人：成都吉豪汽车部件有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B23K11/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种凸焊机下电极冷却装置，包括凸焊机本体和下电极，其特征在于，所述下电极包括下电极盖和下电极基座，所述下电极盖与所述下电极基座进行可分离式连接，在所述下电极基座的外周面设置一个冷却机构。所述冷却机构包括外筒体，所述外筒体包覆于所述下电极基座，形成一个冷却腔。通过在下电极基座的外周面设置冷却机构，冷却机构中的外筒体将整个下电极基座进行包覆，二者之间形成了一个冷却腔，冷却腔为冷却水提供容纳空间，实现对整个下电极基座进行冷却，提升冷却效率，使散热速度加快，避免影响焊接强度
一种凸焊机下电极冷却装置

[实用新型]一种模块式发动机液态介质冷却装置-CN202021829068.8有效
发明人：裴力 -专利权人：成都和正磁力科技有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： F01P3/00 文献下载
摘要：一种模块式发动机液态介质冷却装置，与发动机主体、基座配合，发动机主体安装于基座，模块式发动机液态介质冷却装置包括冷却机构，冷却机构由不导磁的导热防水材料制成，冷却机构、基座、发动机主体依次叠设，冷却机构固定于基座一侧，冷却机构内设有回转管路，回转管路中设有冷却用液态介质，且发动机主体与基座之间、基座与冷却机构之间均设有导热涂料层。其通过发动机主体、基座、冷却机构相互紧密接触，且于之间设置多层导热涂料层，提高整体导热性能，采用水冷方式进行热量交换，有利于大量热量的快速交换，适应于游乐设施中发动机间歇式的短时间产生大量热量的情况。
一种模块发动机液态介质冷却装置

[实用新型]一种非晶合金材料烧结炉快速冷却装置-CN202222659492.8有效
发明人：单琳;许可 -专利权人：江苏恩夏科技发展有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： F27D9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种非晶合金材料烧结炉快速冷却装置，包括冷却基座和设备基座，位于设备基座右端的冷却基座，位于设备基座上端的烧结炉体，所述冷却基座靠近右侧上端外壁上设置有冷却机箱，通过在该非晶合金材料烧结炉快速冷却装置的冷却机箱左侧增加有一个新型的湿化冷却装置，且湿化冷却装置的湿化管与冷却输气管连接，当冷却机箱通过冷却输气管把冷却气体输送到烧结炉中进行冷却降温时，此时湿化冷却装置则会把液体雾化并混合空气输送到冷却输气管中，使得冷却输气管把冷却气体输送到烧结炉中进行冷却降温时冷却气体中含有大量雾化水，而雾化水则会加速对烧结炉内部的冷却降温效果，使得烧结炉内部高温冷却时间大大缩短。
一种合金材料烧结炉快速冷却装置

[实用新型]一种V座装置-CN202122325552.8有效
发明人：袁秀林;李杰 -专利权人：清远敏惠汽车零部件有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种V座装置，涉及电镀技术领域，该V座装置包括：基座，所述基座具有V型槽和缺口，所述缺口设置于所述V型槽的一端；以及冷却管组，设置于所述基座内，所述冷却管组用于冷却所述基座。在基座上设置冷却管组，利用冷却管组对V座装置进行冷却降温，通过增大冷却水的喷用量，提高降温效果。由于基座上还设置有缺口，能够增大基座的散热面积，提高散热效率。
一种装置

[实用新型]一种塑胶模具生产用冷却装置-CN202020260743.3有效
发明人：李德平;强音;李超平 -专利权人：上海霖墩模塑科技有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： B29C45/73 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种塑胶模具生产用冷却装置，包括上模座和下模座，所述上模座的底部设有第一冷却基座，所述第一冷却基座内设有呈S型曲折往返设置的第一冷却腔道，所述第一冷却基座的底部经第一拆卸机构连接带有上模腔的上模型；所述下模座的顶部设有第二冷却基座，所述第二冷却基座内设有呈S型曲折往返设置的第二冷却腔道，所述第二冷却基座的底部经第二拆卸机构设有带有下模腔的下模型。本实用新型将第一冷却基座、上模型、第二冷却基座、下模型进行模块化，有效地降低了单个模块的整体大小以及造成成本，并且可根据注塑物件的不同，来更换上模型即可，而无需更换整个设备，大大降落了生产成本。
一种塑胶模具生产冷却装置

[实用新型]一种便拆式精准定位打印喷头-CN202022173934.9有效
发明人：孟建新;司涛;兰晓虎;常保捷 -专利权人：金九智能增材制造有限公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B29C64/118 文献下载
摘要：本实用新型涉及3D打印设备技术领域，提出了一种便拆式精准定位打印喷头，包括具有通道的基座及设置在基座上且与通道连通的尖嘴喷头，增设了与基座连接的冷却系统及设置在基座下方的加热块，冷却系统包括喷嘴冷却风扇及成品冷却风扇，喷嘴冷却风扇与成品冷却风扇均与基座连接，加热块借助紧固件与基座连接，加热块与基座之间存在间隙，尖嘴喷头与加热块借助螺纹连接。
一种便拆式精准定位打印喷头

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