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- [实用新型]薄形光阻成形系统及薄形光阻成形设备-CN202120102252.0有效
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林刘恭
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光群雷射科技股份有限公司
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2021-01-14
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2021-10-01
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B05C5/02
- 本实用新型公开了薄形光阻成形系统及薄形光阻成形设备。薄形光阻成形系统用来对转印滚轮的外表面喷涂光阻层，其包括：雾化腔室；及薄形光阻成形设备，设置于雾化腔室中，薄形光阻成形设备包含：滚轮固定装置；及雾化装置，邻近滚轮固定装置设置，且雾化装置包含至少一个雾化器以及对应至少一个雾化器设置的溶液槽；其中，溶液槽中容纳有水性光阻溶液，并且至少一个雾化器用来朝向所述雾化腔室雾化水性光阻溶液。本实用新型的有益效果在于，薄形光阻成形系统及薄形光阻成形设备能通过“雾化装置用来使雾化的水性光阻溶液在外表面上形成光阻层”的技术方案，减少光阻层在外表面上形成的时间和光阻层的厚度。
- 薄形光阻成形系统设备
- [实用新型]一种半导体光阻喷涂装置-CN202223272590.2有效
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黄晨
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杭州富芯半导体有限公司
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2022-12-06
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2023-08-01
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B05B15/25
- 本公开提供了一种半导体光阻喷涂装置，包括：用于对晶圆喷涂光阻剂的喷嘴；用于不断向所述喷嘴提供光阻溶液的缓冲罐，所述缓冲罐与所述喷嘴相连；用于储存光阻剂并向所述缓冲罐添加光阻剂的光阻瓶；以及用于去除向所述缓冲罐添加光阻剂过程中产生的气泡的气泡去除机构，所述气泡去除机构连接在所述缓冲罐与所述光阻瓶之间。本公开的半导体光阻喷涂装置，在光阻剂补充进搅拌筒后，通过气泡去除机构去除气泡，有利于光阻喷涂的顺利进行，并能够降低光阻喷涂过程中产生上光不良或者膜厚异常现象的几率。
- 一种半导体喷涂装置
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