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- [发明专利]曝光装置及涂胶显影设备-CN202210936640.8在审
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张明
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无锡易晟半导体有限公司
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2022-08-04
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2022-11-08
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G03F7/20
- 本发明公开曝光装置及涂胶显影设备,曝光装置包括壳体和光强调节组件,壳体内形成有光线传播路径,光强调节组件包括设于光线传播路径的半透半反射镜,且可转动地安装于壳体内,在半透半反射镜的活动行程中,半透半反射镜具有运动至其反射面与光线传播路径呈夹角设置的反射位置和其反射面与光路呈平行设置的避让位置,实现光强较大时,转动半透半反射镜,使其处于反射位置,通过半透半反射镜将光线传播路径上的光部分反射,减小光强,当光强较小时,转动半透半反射镜,使其处于避让位置,通过半透半反射镜避让光线传播路径上的光,使得位于光线传播路径上的光可以全部照射至涂有光刻胶的晶片表面
- 曝光装置涂胶显影设备
- [发明专利]基于多业务的全覆盖电波传播模型-CN202310683118.8在审
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王楠
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北京吉亚斯科技有限公司
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2023-06-09
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2023-08-08
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H04B17/00
- 本发明涉及无线电波传播技术领域,尤其是指基于多业务的全覆盖电波传播模型,其包括频率在10kHz和30MHz间的地波传播模型:进行路径剖面分析,判断路径类型,借助地形数据和土地利用数据通过基本数据计算得到;最终再使用Millington方法获取非均匀路径的场强;频率在30MHz和50GHz间的地波传播模型:预测程序准备,输入数据,路面剖面分析,计算路径参数;建立计算子模型用于计算,将输入参数代入到计算子模型中本申请的基于多业务的全覆盖电波传播模型适用于距离从3千米至1,000千米的30MHz至50GHz频率范围内的信号增强和衰落造成的地面传播路径损耗。
- 基于业务覆盖电波传播模型
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