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[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法-CN200710006580.5无效
发明人：堀口贵弘;大见忠弘;平山昌树 -专利权人：东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学
申请日： 2007-02-06 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：微波等离子体处理装置(100)包括：使通过槽的微波透过的多个介电体元件(31)；和位于各介电体元件(31)下方的气体喷嘴(27)。介电体元件(31)和气体喷嘴(27)由多孔体(多孔质体)和主体(致密质体)形成。第一气体供给部，将氩气从各介电体元件(31)的多孔体(31P)供给至处理室内。第二气体供给部，将硅烷气体和氢气从气体喷嘴(27)的多孔体(27P)供给至处理室内。气体通过各多孔体时减速，由此，能够抑止气体的过度搅拌。结果，能够生成均匀的等离子体，这样能够形成优质的非晶硅膜。
等离子体处理装置方法

[发明专利]用于形成半导体器件结构的方法-CN201510789106.9有效
发明人：陈威廷;张哲诚;郑台新;萧伟印 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2015-11-17 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：该方法包括在半导体衬底上方形成介电层。该方法包括在介电层上方形成掩模层。掩模层具有暴露介电层的部分的开口。该方法包括穿过开口来去除介电层的部分以在介电层中形成凹槽。该方法包括去除掩模层。该方法包括对介电层实施等离子体清洗工艺。等离子体清洗工艺使用含有二氧化碳的气体。
用于形成半导体器件结构方法

[发明专利]放电体以及电场装置和臭氧发生器-CN202011059906.2在审
发明人：姜诗中;曾志海;徐国华;奚勇 -专利权人：上海必修福企业管理有限公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本发明公开了放电体以及电场装置和臭氧发生器，放电体至少包括导体、第一介质以及第二介质，其中，第一介质设置在导体的表面并环绕导体的至少一部分布置，第二介质设置于第一介质的表面。
放电以及电场装置臭氧发生器

[发明专利]应用于鳍式场效应晶体管的截断方法-CN202110628762.6在审
发明人：邱靖尧;李镇全;刘立尧 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：该方法包括提供半导体衬底，半导体衬底上形成有鳍式场效应晶体管的鳍体；形成第一介质层，第一介质层覆盖鳍体的顶部、侧面、鳍体之间的半导体衬底；进行若干次鳍体截断工艺，去除非必要鳍体；通过湿法腐蚀工艺去除第一介质层；其中，每次鳍体截断工艺包括：在第一介质层表面形成第二介质层；通过光刻工艺定义鳍体的截断区域；通过刻蚀工艺去除截断区域对应的鳍体；去除半导体衬底表面残余的光刻胶；通过湿法腐蚀工艺去除第二介质层；解决了目前鳍式场效应晶体管截断工艺过程造成鳍体特征尺寸变小的问题；达到了保证鳍体在截断工艺后特征尺寸仍满足性能需求的效果。
应用于场效应晶体管截断方法

[发明专利]一种丙烯酸酯介电弹性体及其制备方法-CN202011285609.X有效
发明人：党智敏;尹丽娟;裴家耀;钟少龙;张冬丽 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： C08F283/00 文献下载
摘要：一种丙烯酸酯介电弹性体及其制备方法，所述制备方法包括：将丙烯酸酯单体、多官能团丙烯酸酯低聚物和光引发剂混合均匀，形成预聚体；将所述预聚体注入模具并抽真空，经紫外光照射引发光聚合反应，形成丙烯酸酯介电弹性体；将所述丙烯酸酯介电弹性体脱模，并除去未反应的单体。通过上述方法制得的丙烯酸酯介电弹性体兼具高效电致驱动性能、低介电损耗和优异的机械性能，实用性好，上述制备方法操作简单、易于大规模生产。
一种丙烯酸酯弹性体及其制备方法

[发明专利]高压穿心式电容器-CN96106604.0无效
发明人：近藤善一 -专利权人：株式会社近藤电机
申请日： 1996-06-14 - 公布日： 2000-08-02 - 主分类号： H01G4/35 文献下载
摘要：它由在两端部设置着电极的柱状介电体；贯通地配置在介电体上、一侧端部与介电体的一个端面部的电极导通结合的导体杆；嵌装上述介电体的另一端部，并与它的电极导通结合的接地板；能把嵌装在接地板上的介电体加以整体包覆地填充成形的绝缘性的树脂铸型构成，在接地板上形成嵌合孔，且大致连续地围绕着嵌合孔的外周边开设多个树脂流通孔，树脂铸型通过树脂流通孔与接地板的两侧面成一体地形成。
高压穿心式电容器

[发明专利]图案化低k介电膜的方法-CN201380034656.9有效
发明人： S·D·耐马尼;J·T·彭德;Q·周;D·卢博米尔斯基;S·G·别洛斯托茨基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-06-21 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本文描述图案化低k介电膜的方法。在实例中，一种图案化低k介电膜的方法涉及以下步骤：在低k介电层之上形成及图案化光罩层。低k介电层安置在基板之上。方法亦涉及以下步骤：利用等离子体工艺来修正低k介电层的曝露部分。方法亦涉及以下步骤：在同一操作中，利用对光罩层及低k介电层的未修正部分有选择性的远程等离子体工艺，去除低k介电层的已修正部分。
图案介电膜方法

[发明专利]一种高柔性均质介电弹性体及其制备方法-CN201910178112.9在审
发明人：王明路 -专利权人：青岛海湾化工设计研究院有限公司
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C08L13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高柔性均质介电弹性体及其制备方法，包括以下组分的原料，以重量份数计：羧基丁腈橡胶60‑100份、热塑性聚氨酯20‑80份、四氢呋喃200‑600份、过氧化二异丙苯2‑4份、光交联剂10‑份、催化剂3‑8份，所述羧基丁腈橡胶羧基含量为4％‑10％，所述热塑性聚氨酯为巴斯夫45A型，先利用溶液共混法将羧基丁腈橡胶与热塑性聚氨酯共混再加入交联剂，经过搅拌、溶剂脱除、热压制备了一种高柔性均质介电弹性体，本发明涉及介电弹性技术领域。该高柔性均质介电弹性体及其制备方法，解决了传统导电填料介电弹性体，因填料分散性不好、导电性差，尤其在外加电场下易团聚的问题，从而进一步增加聚氨酯型介电弹性体的电致形变，提高介电弹性体的性能。
介电弹性体高柔性均质热塑性聚氨酯羧基丁腈橡胶制备过氧化二异丙苯导电性溶液共混法填料分散性弹性技术导电填料电致形变光交联剂聚氨酯型溶剂脱除四氢呋喃外加电场交联剂热压制重量份共混介电羧基催化剂团聚

[发明专利]一种宽幅射流等离子体炬及其射流方法-CN202211182596.2有效
发明人：朱铧丞;杨阳 -专利权人：四川大学
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种宽幅射流等离子体炬及其射流方法，属于微波技术领域，包括矩形波导、超材料体和陶瓷管；所述矩形波导左端设有微波馈入口，且矩形波导前后侧为窄面，位于前侧的窄面内壁设有超材料体；所述超材料体包括第一介电常数介质板和第二介电常数介质板；所述第一介电常数介质板从左往右材料前后方向厚度逐渐增大；所述第二介电常数介质板从左往右材料前后方向的厚度保持不变，且等于第一介电常数介质板最右端材料前后方向的厚度；所述陶瓷管嵌入在第二介电常数介质板内，且陶瓷管整体位于第二介电常数介质板的后表面前侧。本发明能有效解决现有等离子体激发装置不能同时解决无法产生均匀宽幅射流等离子体、使用不便利和成本高等问题。
一种宽幅射流等离子体及其方法

[发明专利]一种介电陶瓷材料及其制备方法-CN202210185951.5有效
发明人：吕明;赖秋坛;蒋存涛;邹易霖;彭诚 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C04B35/47 文献下载
摘要：本发明公开了一种介电陶瓷材料及其制备方法。本发明的所述介电陶瓷材料的化学通式为Sr(Nb2/3Mg1/3)xTi体、钛前驱体、铌前驱体和镁前驱体球磨混合，再进行煅烧，制得介电材料；2)将介电材料和粘结剂混合后进行造粒，得到介电颗粒材料；3)将介电颗粒材料加入模具后压制成坯体；4)将坯体进行预烧结、烧结，制得介电陶瓷材料。
一种陶瓷材料及其制备方法

[实用新型]一种城市地铁工程用电气设备交接预防性试验设备-CN202221487394.4有效
发明人：刘源 -专利权人：刘源
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种城市地铁工程用电气设备交接预防性试验设备，包括抗干扰介损测试仪仪体和防护机构，所述抗干扰介损测试仪仪体上设置有对称分布的手柄，所述防护机构包括防护箱箱体、箱盖、卡槽、卡块，所述抗干扰介损测试仪仪体置于防护箱箱体内；本实用新型的有益效果是：通过设计的防护机构，利用防护箱箱体和箱盖的搭配，对抗干扰介损测试仪仪体进行防护，解决了传统中的抗干扰介损测试仪仪体防护不足的问题；通过设计的升降机构，实现了抗干扰介损测试仪仪体的升降调节，操作抗干扰介损测试仪更便利；通过设计的导向组件，活动板上下活动时，活动板上的滑块顺着滑槽滑动，并在万向球的作用下，减小活动板上下活动所受的阻力。
一种城市地铁工程用电设备交接预防性试验

[发明专利]基于介电弹性体的自主滚动软体机器人-CN201810282701.7在审
发明人：李汶柏;张文明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2018-04-02 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： B62D57/032 文献下载
摘要：一种基于介电弹性体的自主滚动软体机器人，包括：机器人主体、设置于机器人主体内部的控制系统和设置于机器人主体外部的若干介电弹性体驱动器腿足，其中：介电弹性体驱动器腿足包括柔性框架、加强框架以及设置于其间的介电弹性体薄膜该机器人结构简单、质量轻、控制方便、作动安静，且具有全柔性、抗冲击的良好性能；通过施加电压即可控制每个介电弹性体驱动器腿足动作从而推动机器人快速滚动，并且集成传感器和控制系统可以实现自主滚动。
介电弹性体驱动器机器人主体滚动腿足机器人控制系统软体机器人结构集成传感器加强框架控制方便柔性框架施加电压抗冲击全柔性薄膜外部

[发明专利]介电弹性体驱动的刚软结合仿人髋关节-CN202310267187.0在审
发明人：张金柱;刘泱;王涛;钮晨光;熊晓燕 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B25J17/00 文献下载
摘要：本发明属于仿人机器人关节技术领域，公开了介电弹性体驱动的刚软结合仿人髋关节，包括仿髋关节球副、介电弹性体驱动装置和底座，所述仿髋关节球副一端可三自由度转动的连接底座，其另外一端连接所述介电弹性体驱动装置，所述介电弹性体驱动装置连接底座，其用于通电时，来使仿髋关节球副三自由度转动，本发明分别对不同的介电弹性体驱动装置的涂抹柔性电极区域通电，可以实现髋关节空间三轴的旋转、即髋关节的屈伸、外展内收、外旋内旋
弹性体驱动结合髋关节

[发明专利]屏蔽端子-CN201810175348.2有效
发明人：前岨宏芳;吉田和弘;一尾敏文 -专利权人：株式会社自动网络技术研究所;住友电装株式会社;住友电气工业株式会社
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： H01R13/6477 文献下载
摘要：不使电介体的刚性降低，也能提高阻抗。屏蔽端子(12)具备：合成树脂制的电介体(22)，在电介体(22)的内部形成有导体收纳室(39)；内导体(15)，其收纳于导体收纳室(39)内；外导体(14)，其将电介体(22)包围；以及壁部(24、35由此，就算电介体(22)不使用刚性高的材料，也能提高阻抗。
屏蔽端子

[实用新型]一种臭氧发生管-CN202120072629.2有效
发明人：冯晓丹 -专利权人：广州市喜吉雅电子科技有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种臭氧发生管，包括有内电极、外电极和介电体，所述介电体套设内电极，所述内电极于介电体的内部，内电极与介电体之间形成一气缝层，所述外电极设于介电体外表层，在内电极上设有若干错位孔，臭氧发生管与高压发生装置连接通电，将高压电传至臭氧发生管的内电极和外电极，在高频高电压强电场作用下，气体沿内电极表面发生脉冲电晕放电，产生等离子体，使气缝层中氧分子在瞬间分解为单原子氧，原子氧又迅速与氧结合成臭氧。
一种臭氧发生