专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]室组件及反应-CN201811511088.8有效
  • 王帅伟;兰云峰;王勇飞 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2018-12-11 - 2022-07-22 - C23C16/455
  • 本发明提供一种室组件,包括腔体、室盖,其特征在于,还包括铰接模块,所述铰接模块设置在所述腔体与所述室盖之间,用于实现所述室盖的开合,且在所述铰接模块内设有气体通路,所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述室盖通入所述腔体的内部即使室盖处于开启状态,气体通路仍然处于封闭状态,而不会暴露在大气环境中,从而避免了在开启室盖,以取放衬底或者维护室时,因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路,进而可以保证室的洁净度,降低薄膜的颗粒缺陷,提高器件的质量及产品良率。
  • 组件反应
  • [实用新型]反应顶及CVD反应-CN201420547290.7有效
  • 何其保;吴新江;奚晓明;吴志君;范盯 - 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
  • 2014-09-22 - 2015-02-11 - H01L21/687
  • 本实用新型提供一种反应顶及CVD反应,其中,反应顶包括:反应顶主体、第一黄铜管、第二黄铜管、主体固定件、筒夹、外圈固定件、以及盖体,所述第一黄铜管位于反应顶主体顶部,所述第一黄铜管直径大于所述第二黄铜管直径冷却水进入到第一黄铜管和第二黄铜管内中和射频产生的热量,反应顶主体的顶部在同一时间段内冷却水的流量比反应顶主体的其他部位大,使得反应顶主体温度平衡,反应顶主体内表面的薄膜厚度一致,可以避免反应顶主体顶部内表面被过量轰击,从而降低晶圆的报废率;反应顶开启之后再次盖回反应腔体时,将反应顶主体底部的固定块放置于反应腔体的卡槽中,保证反应腔体内的晶圆厚度均匀,节约成本。
  • 反应cvd
  • [实用新型]内排烟系统-CN202021638988.1有效
  • 郑燕 - 郑燕
  • 2020-08-10 - 2021-07-27 - A61B18/00
  • 本实用新型属于镜排烟设备技术领域,具体涉及内排烟系统;它包括负压吸引器、穿刺器和抓钳,穿刺器包括连接头、密封头和穿刺管,密封头上设置通气口,抓钳包括手柄,手柄均与中间接块连接,中间接块的中部贯穿有推杆钳头包括有下吸头和上夹板,下吸头上设置有吸孔,下吸头与上夹板转动连接;负压吸引器通过连接管连接引流收集瓶,引流收集瓶通过吸烟管连接吸气口,吸烟管上设置三通阀,三通阀通过排气管连接通气口;本实用新型操作使用方便,能够高效辅助镜手术进行腔内排烟
  • 腔镜腔内排烟系统
  • [实用新型]一种便于对型产品侧壁喷漆的遮喷治具-CN202021219530.2有效
  • 姚小春;龙礼仁;谭铁山 - 东莞市中泰精创精密科技有限公司
  • 2020-06-28 - 2021-04-20 - B05B12/20
  • 本实用新型提供一种便于对型产品侧壁喷漆的遮喷治具,包括底板,所述底板上还设置有承力块、置物块,所述承力块不少于一块,各块承力块分布于底板从而合围形成一容置槽,容置槽的形状与所述型产品的外部结构相适配以便于将型产品放入容置槽中,所述置物块设置在容置槽上,置物块的形状与型产品的内相适配从而得以让型产品的内嵌入,在水平面上,置物块的面积小于容置槽的面积从而使其边缘形成卡接槽,位于底板后侧、前侧、右侧的卡接槽分别在各自远离置物块的一侧设置有喷漆通孔以便于对型产品的侧壁进行喷漆使其达到准确地对型产品的侧壁进行喷漆,从而提高型产品侧壁的喷漆效率和良品率。
  • 一种便于产品侧壁喷漆遮喷治具
  • [实用新型]一种蒸发器输出管产品自动清检具-CN202120716170.5有效
  • 关键超;刘廷娟;牛永强 - 新乡市瑞立金属有限公司
  • 2021-04-09 - 2021-12-10 - B65G13/06
  • 本实用新型公开了一种蒸发器输出管产品自动清检具,包括加工台,加工台台面呈倾斜状结构分布,且加工台顶部外壁的四周均通过螺栓安装有导向台,加工台的两侧外壁上均焊接有侧板,且侧板相邻一侧外壁的中心处通过轴承活动连接有传动轴杆蒸发器输出管沿滑道滑动至环槽的内部契合在转辊上开设的限位槽内部,随着转辊带动蒸发器输出管转动至喷气管处时,喷气管喷出气体对蒸发器输出管进行清理,碎渣可穿过通气管进入接渣筒的内部,从而完成对蒸发器输出管的清作业,清后的蒸发器输出管随转辊转动沿滑道进入下道工序。
  • 一种蒸发器输出产品自动清腔检具
  • [实用新型]一种一模多提高产品成型率的精密模具-CN202320525559.0有效
  • 张文远 - 昆山英凯精密塑胶有限公司
  • 2023-03-17 - 2023-07-18 - B29C45/26
  • 本实用新型涉及模具注塑技术领域,且公开了一种一模多提高产品成型率的精密模具,包括上盖板与下盖板,所述上盖板的顶部固定安装有进料管,所述上盖板的内部固定安装有固定管,所述固定管的内部固定安装有加热棒,所述固定管的底部固定安装有数量为三个的注塑管该一模多提高产品成型率的精密模具,具备防堵塞等优点,解决了传统的一模多铸造模具型与模具为一体化结构,不能够进行拆卸或者安装,不利于生产不同形状的产品,并且注塑过程中流道内的流体经常因为温度不够而导致流道堵塞
  • 一种一模多腔提高产品成型精密模具

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