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[发明专利]反应腔室的上盖结构和反应腔室-CN201410705206.4有效
发明人：张伟涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室的上盖结构，包括线圈盒、隔板、盖板、多个开盖挂钩和与多个开盖挂钩一一对应的盖板挂钩，所述开盖挂钩在对正位时与所述盖板挂钩对正，在脱离位时与所述盖板挂钩相错开，所述开盖挂钩包括第一钩持部本发明还提供一种反应腔室。与现有技术相比，本发明中的上盖结构上升时，开盖挂钩不需要移动一段空行程，因而可以减少铜连接条受到的拉力。
钩持部挂钩开盖盖板反应腔室上表面上盖结构下表面隔板铜连接条逐渐降低空行程上升时线圈盒错开对正贴合匹配脱离移动

[发明专利]腔室上盖及包含该上盖的反应腔室-CN200610165461.X有效
发明人：张风港 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2006-12-20 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明公开了一种腔室上盖及包含该上盖的反应腔室，腔室上盖的上部设有进气口、下部设有多个气孔，腔室上盖的内部还设有空腔，工艺气体可依次通过进气口、空腔、多个气孔注入反应腔室，对反应腔室内的半导体硅片进行刻蚀使得反应腔室内的气体分布更加均匀，从而得到满意的刻蚀效果。尤其适用于半导体晶片加工设备的反应腔室，也适用于其它的腔室。
腔室上盖包含反应

[实用新型]一种空调-CN201120556102.3有效
发明人：李甲;甘国波;欧佳 -专利权人：东莞阳天电子科技有限公司
申请日： 2011-12-26 - 公布日： 2012-06-06 - 主分类号： F24F1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种空调，其包括箱体，所述箱体包括相对的左侧壁和右侧壁、以及连接左侧壁顶端和右侧壁顶端的上侧壁，所述箱体内设有由上侧壁、左侧壁的上段部分、右侧壁的上段部分以及隔板围成的上腔室，所述上腔室内设有蒸发器，蒸发器将所述上腔室分隔为左腔室和右腔室，所述左侧壁上段部分和/或上侧壁靠近左侧壁的一段上设有与左腔室连通的入风口，右侧壁上段部分上设有与右腔室连通的出风口，所述右腔室内靠近出风口处设有风扇。
一种空调

[发明专利]一种投影机-CN201610845789.X在审
发明人：李锦奎;施富雄 -专利权人：苏州佳世达光电有限公司;佳世达科技股份有限公司
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G03B21/16 文献下载
摘要：本发明关于一种投影机，包括机壳及镜头单元，机壳具有相连的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁及第四侧壁，第一侧壁与第三侧壁相对，第二侧壁与第四侧壁相对，镜头单元设置于第一侧壁上，投影机包括进风口、出风口，相连通的第一腔室、第二腔室及第三腔室、第一风扇以及第二风扇。进风口设置于第一侧壁且靠近第二侧壁；出风口设置于第四侧壁且靠近第一侧壁；第一腔室及第三腔室分别位于第二腔室的相对两侧，出气口位于第一腔室上，进气口连通第三腔室；第一风扇设置于第三腔室中；第二风扇设置于第一腔室或第二腔室中；冷却气流的流通路径为自进风口依次进入第三腔室、第二腔室及第一腔室，最后自出风口排出投影机。
一种投影机

[实用新型]一种便于安装且防水的LED线条灯-CN202122310105.5有效
发明人：张振 -专利权人：深圳丽鸿光电有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便于安装且防水的LED线条灯，包括截面是H形的一体成型的条状外壳，条状外壳的上部分是截面为正U形的上腔室，条状外壳的下部分是截面为倒U形的下腔室，上腔室内设置有与上腔室底面固定连接的安装板，安装板上设置有LED灯带，LED灯带上方设置有与上腔室两侧壁固定连接的透明的胶体层，上腔室的开口端还设置有盖设在上腔室上且与上腔室开口端密封连接的透光板，下腔室的左侧壁是截面为倒S形且能弹性形变的左侧壁板，下腔室的右侧壁是截面为正S形且能弹性形变的右侧壁板。该实用新型可安装在地面凹槽中，也可以安装在地面凸起上，并且可以有效的防水，可以满足不同的使用需求。
一种便于安装防水 led 线条

[发明专利]一种具有双腔室的原子层沉积系统及工艺-CN201910677561.8有效
发明人：冯嘉恒 -专利权人：无锡科硅电子技术有限公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有双腔室的原子层沉积系统及工艺，包括外腔室，其顶部设有可开合的上盖，外腔室侧壁上设有外腔室进气管和外腔室抽气管，外腔室内中部设有从上盖处取放的内腔室，其上设有内腔室进气管和内腔室抽气管；所述外腔室的上盖及侧壁的内侧分别设有上盖加热器和侧壁加热器，外腔室内部位于内腔室底部设有中央加热器。本发明降低了系统氧含量，方便沉积腔的维护和更换，提高了设备的适用范围。
一种具有双腔室原子沉积系统工艺

[实用新型]新型建筑通风装置-CN202022816548.7有效
发明人：王高飞;孙皞利 -专利权人：王高飞
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： F24F7/04 文献下载
摘要：一种新型建筑通风装置，包括建筑通风口，建筑通风口由通风管道和出风腔室构成，通风管道与出风腔室连通，在出风腔室左侧壁和右侧壁上均设置有放卷室，在放卷室对应的出风腔室左侧壁和右侧壁上均设置供滤网通过的通孔，在放卷室的前、后壁上安装放卷轴，滤网的一端固定在左侧壁上的放卷轴上，滤网缠绕在左侧壁上的放卷轴上后形成滤网卷，滤网的另一端依次穿过出风腔室左侧壁上的通孔、出风腔室内部和出风腔室右侧壁上的通孔最后固定在右侧放卷室内的放卷轴上本实用新型更换滤网时不需要拆除出风腔室，直接旋转放卷轴便能方便快捷的更换滤网，省时省力，大幅节约维护成本。
新型建筑通风装置

[发明专利]培养装置-CN202111170828.8有效
发明人：王玄 -专利权人：上海睿钰生物科技有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C12M3/00 文献下载
摘要：本说明书一个或多个实施例涉及一种培养装置，培养装置包括：容纳底座，容纳底座上设有容纳腔室，容纳腔室包括用于容纳培养物的培养腔室；培养腔室包括腔室底壁以及围合在腔室底壁周侧的腔室侧壁，腔室侧壁的外侧与容纳腔室的内壁之间形成培养液通道；腔室侧壁的至少部分包括膜材，膜材所在平面与所述腔室底壁相交。
培养装置

[实用新型]培养装置-CN202122420855.8有效
发明人：王玄 -专利权人：上海睿钰生物科技有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C12M3/00 文献下载
摘要：本说明书一个或多个实施例涉及一种培养装置，培养装置包括：容纳底座，容纳底座上设有容纳腔室，容纳腔室包括用于容纳培养物的培养腔室；培养腔室包括腔室底壁以及围合在腔室底壁周侧的腔室侧壁，腔室侧壁的外侧与容纳腔室的内壁之间形成培养液通道；腔室侧壁的至少部分包括膜材，膜材所在平面与所述腔室底壁相交。
培养装置

[实用新型]一种防脱鱼竿支架-CN202020552222.5有效
发明人：刘金波;陈长富;官连莲 -专利权人：威海科尼渔具有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： A01K97/10 文献下载
摘要：具体为一种防脱鱼竿支架，解决了对鱼竿把手的固定效果较差，容易受到鱼的拉力脱落，实用性较差的问题；包括支撑架、锁紧圆盘、前固定板、后固定板、活动板、扭簧、连接轴和第一卡板，支撑架与锁紧圆盘的后端固定连接，锁紧圆盘内开设有上腔室和下腔室，上腔室和下腔室均为同一圆心形成的相等的扇形状，前固定板左端的上半区域和下半区域分别与上腔室左侧壁的前侧和下腔室右侧壁的前侧连接，后固定板左端的上半区域和下半区域分别与上腔室左侧壁的后侧和下腔室右侧壁的后侧连接，活动板右端的上半区域和下半区域与上腔室的右侧壁和下腔室的左侧壁接触，活动板的左端中心位置开设有通孔。
一种鱼竿支架

[实用新型]实现热管降温的预燃室装置及发动机-CN202120890095.4有效
发明人：王建安;郭丽军;张波;曲东青;匡丽梅 -专利权人：东莞市晨兴智能精密装备有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： F02B19/10 文献下载
摘要：本实用新型属于汽车发动机技术领域，涉及一种实现热管降温的预燃室装置及发动机，包括缸盖及预燃室本体，所述缸盖上设置有用于安装所述预燃室本体的预燃室安装孔，所述预燃室本体上的侧壁上部设置有预燃室侧壁冷凝腔，所述预燃室本体的底部设置有预燃室侧壁蒸发腔，所述预燃室本体的侧壁中部设置有预燃室侧壁热管通道，所述预燃室侧壁冷凝腔、预燃室侧壁热管通道及预燃室侧壁蒸发腔由上至下依次连通以形成封闭腔，封闭腔内填充相变工质以在预燃室本体的侧壁上形成预燃室侧壁热管本申请的实现热管降温的预燃室装置，大幅降低预燃室本体上预燃室喷射孔附近的区域壁面的热负荷，防止开裂以及烧蚀问题。同时本实用新型结构简单，体积小，操作方便。
实现热管降温预燃室装置发动机

[发明专利]上电极组件及反应腔室-CN201510701261.0在审
发明人：王婷婷 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种上电极组件及反应腔室，包括介质桶、环绕在该介质桶周围的线圈以及用于冷却介质桶的冷却机构，该冷却机构包括冷却通道，该冷却通道位于线圈的内侧，通过向冷却通道内通入冷却介质，来冷却介质桶；并且冷却通道被设置为使通入其内的冷却介质直接与介质桶相接触本发明提供的上电极组件，其不仅可以提高对介质桶的冷却效果，而且还可以提高介质桶的温度均匀性，从而可以提高工艺均匀性。
电极组件反应

[发明专利]上电极装置及工艺腔室-CN202111486114.8在审
发明人：刘珊珊 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：本发明提供一种上电极装置及工艺腔室，其中，上电极装置包括顶部盖板、电极组件和驱动组件，顶部盖板用于设置于工艺腔室的腔体顶部；电极组件包括匹配器、线圈和连接结构，匹配器通过连接结构与线圈连接，匹配器用于和电源连接，以通过线圈在腔体内产生电场；顶部盖板上开设有供连接结构穿过及移动的开口，匹配器位于顶部盖板背离腔体一侧，线圈位于顶部盖板朝向腔体一侧；驱动组件设置在顶部盖板上，用于驱动线圈在开口范围内移动，以改变线圈相对于腔体的位置本发明提供的上电极装置及工艺腔室，能够提高电场调节的效率，提高产能，并能够维持设备及工艺的稳定性。
电极装置工艺

[发明专利]用于EPI腔室的上圆顶-CN201580045879.4有效
发明人：刘树坤;穆罕默德·图格鲁利·萨米尔;常安忠 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-08-14 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：圆顶组件包括上圆顶与上周边凸缘，所述上圆顶包含凸形弧中央窗，所述上周边凸缘在所述中央窗的周缘处啮合所述中央窗。
用于 epi 圆顶

[发明专利]上电极组件及反应腔室-CN201710623176.6有效
发明人：陈鹏;徐奎;丁培军;常大磊;姜鑫先;张璐;刘建生;苏振宁;宋巧丽 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种上电极组件及反应腔室，其包括线圈，在该线圈上设置有功率馈入点，该功率馈入点位于线圈的除端点之外的位置处，且线圈的端点接地，以将线圈自功率馈入点形成相互并联的多个线圈分部。本发明提供的反应腔室，其可以减小线圈上存在的电位分布差异，从而可以提高等离子体的分布均匀性，进而可以提高工艺均匀性。
电极组件反应

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