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[实用新型]上胶机匀胶装置-CN200820186607.3无效
发明人：陈刚 -专利权人：常州星海半导体器件有限公司
申请日： 2008-10-30 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及二极管上胶机匀胶装置领域，其由固定螺丝，匀胶板，调节螺丝，固定底板和调节螺母等组成，匀胶板上设置有齿条。采用本实用新型的装置能够让二极管上胶机更加便捷的操作，而且消除了匀胶时的摆动，匀胶效果明显改善。该装置设计合理，匀胶时运行平稳，可靠性较好。
上胶机匀胶装置

[实用新型]一种晶片用匀胶机-CN202223585277.4有效
发明人：徐志成;赵青 -专利权人：中科爱毕赛思（常州）光电科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及匀胶机技术领域，尤其涉及一种晶片用匀胶机，包括机架和设置在所述机架上的匀胶盘，所述匀胶盘内转动设置有承载平台，所述匀胶盘的侧壁上设置有刮胶腔，所述刮胶腔内滑动设置有挡胶板，所述挡胶板底部安装有储胶盘，其中，所述挡胶板向上滑动设置时，所述刮胶腔的侧壁适于将所述挡胶板上的胶水刮至所述储胶盘内。本实用新型为一种晶片用匀胶机，通过设置挡胶板，对匀胶过程中多余的胶水阻挡在挡胶板上，打开端盖后，挡胶板在弹簧的作用下向上滑动，刮板将遗留在挡胶板上的胶水刮落至储胶盘内，储胶盘卡接在挡胶板上，当储胶盘满时，取下储胶盘更换空盘即可，提高了匀胶的效率。
一种晶片用匀胶机

[实用新型]带有FFU单元的匀胶机-CN201920694269.2有效
发明人：王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 -专利权人：苏州美图半导体技术有限公司
申请日： 2019-05-15 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种匀胶机，尤其是一种带有FFU单元的匀胶机，属于匀胶机的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述带有FFU单元的匀胶机，包括机架以及位于所述机架上的匀胶腔室；在所述匀胶腔室的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元，在匀胶腔室的下部设置用于将气体排出的排风口；在匀胶腔室内设置有多孔工作面板以及设置于所述多孔工作面板上的载液池，在所述载液池内设置用于支撑匀胶衬底的匀胶载盘，在多孔工作面板上设置能封闭载液池的盖板；FFU单元产生的洁净空气进入匀胶腔室内，透过多孔工作面板后能经排风口排出。本实用新型结构紧凑，能提供匀胶工艺中所需的无尘环境，使用方便，安全可靠。
匀胶匀胶机工作面板本实用新型腔室洁净空气排风口排出载液室内单元产生顶部设置无尘环境盖板衬底液池载盘封闭支撑

[实用新型]一种胶带涂布机的匀胶装置-CN201820234495.8有效
发明人：黄荣平 -专利权人：东莞晟泰胶粘制品有限公司
申请日： 2018-02-09 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种胶带涂布机的匀胶装置，包括匀胶上板和匀胶下板，所述匀胶上板的下方两端处通过气缸连接有支撑柱，并且所述匀胶上板的上表面设置有胶溶液箱，所述支撑柱之间通过梯形座与匀胶下板相连，并且所述支撑柱通过气缸架与气缸相连，所述胶溶液箱通过胶液管连接有增胶滴头，所述匀胶上板和匀胶下板之间对称设置有平胶辊和匀胶辊，所述平胶辊和匀胶辊的下方对称设置为支撑胶辊，并且所述平胶辊和匀胶辊均通过三角支架固定安装于匀胶上板的下表面上，所述增胶滴头通过夹持架与匀胶上板相连，所述平胶辊和匀胶辊之间设置有除胶刮板，所述除胶刮板通过伸缩柱与匀胶上板相连，利用增胶滴头和除胶刮板，以提高其装置的均胶效果。
匀胶上板和匀胶辊平胶支撑柱除胶刮板胶滴下板胶带涂布机对称设置匀胶装置胶溶液本实用新型气缸连接三角支架支撑胶辊夹持架胶液管气缸架上表面伸缩柱梯形座下表面气缸

[实用新型]一种硅片加工用匀胶机-CN201520933669.6有效
发明人：张运;孙者利 -专利权人：济南卓微电子有限公司
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：一种硅片加工用匀胶机，包括机架，机架上设有匀胶部分，匀胶部分包括匀胶辊，匀胶辊包括主动匀胶辊和从动匀胶辊，匀胶机还包括动力部分，动力部分包括电机及在电机带动下转动的传动部件，主动匀胶辊与所述传动部件连接本匀胶机具有主动匀胶辊和从动匀胶辊，通过与胶瓶之间的摩擦力，打动胶瓶匀速转动，以完成稀释剂与光刻胶之间的均匀混合；本匀胶机结构简单、使用便利、成本低廉，大大减少了人工劳动量，适用于添加剂与胶液之间的匀匀混合之用途。
一种硅片工用匀胶机

[实用新型]一种上胶装置-CN201821377663.5有效
发明人：朱怀松;沈伏根 -专利权人：桐乡市恒泰纸管有限公司
申请日： 2018-08-26 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种上胶装置。属于胶水供应设备技术领域，该装置能够均匀上胶，且结构简单，使用方便。包括一号电机、输送架、自动上胶机和收集槽，还包括导向座、匀胶组件和滚胶组件；输送架固定连接在一号电机上端，导向座位于输送架的右侧，自动上胶机位于导向座的右侧，匀胶组件位于自动上胶机的右侧，滚胶组件位于匀胶组件的右侧，自动上胶机、匀胶组件和滚胶组件的下端设有收集槽。
自动上胶机匀胶滚胶组件导向座输送架上胶装置收集槽电机本实用新型供应设备胶水上端上胶下端

[实用新型]涂胶机的匀胶机构-CN201120092611.5有效
发明人：呼新华 -专利权人：上海青霞机电科技有限公司
申请日： 2011-03-31 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：涂胶机的匀胶机构，包括匀胶辊和上胶辊，其特点是，匀胶辊、上胶辊的动力源是彼此独立的，匀胶辊的动力源与时间控制器耦接以受该时间控制器的控制。
涂胶机构

[实用新型]匀胶机配件和生产系统-CN202021851786.5有效
发明人：李莹;赵东峰;杨海涛;李坤;韩兴君;郭培亮;张玉良 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机配件和生产系统，其中，所述匀胶机配件包括载物台和匀胶仓，所述载物台具有固定匀胶件的承载面；所述匀胶仓环设于所述载物台的周缘，并形成有罩盖所述匀胶件的匀胶腔，所述匀胶仓与所述载物台同步旋转本实用新型技术方案的匀胶机配件可有效解决大面积的晶圆匀胶不均匀或缺胶问题。
匀胶机配件生产系统

[实用新型]一种光刻用基片匀胶架-CN201620322778.9有效
发明人：王炜 -专利权人：石家庄海科电子科技有限公司
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻用基片匀胶架，包括匀胶机旋转头固定架，匀胶机旋转头固定架上面固定有挡盘，挡盘上方固定有悬空支架，悬空支架包括至少3根竖杆，在至少3根竖杆上的同一平面上设有可调式基片固定机构。本实用新型采用基片固定机构，不受真空泵吸附强度的影响，不管基片的重量多大，都可以稳固的固定住基片；采用悬空匀胶，可以保证孔内的胶充分饱满，匀胶效果好；可调式基片固定机构可以根据基片的不同尺寸进行调节，方便快捷；胶厚测试装置可以实时测量基片上光刻胶的厚度；挡盘挡住匀胶机吸口，可以防止胶液进入匀胶机影响机器正常运行。
一种光刻用基片匀胶架

[实用新型]一种匀胶机-CN201922373260.4有效
发明人：刘丽云 -专利权人：上海云邦化工科技有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B01F15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机，包括匀胶机主体，所述匀胶机主体的内部设置有工作盘，所述匀胶机主体的上端外表面设置有保护盖，所述保护盖的内部设置有存料盒，所述存料盒的内部设置有移动轨道，所述移动轨道的内表面设置有限位管，所述存料盒的内表面设置有放料口，所述匀胶机主体的下端外表面设置有伸缩支撑脚，所述伸缩支撑脚的外表面设置有脚螺旋，所述匀胶机主体的上外表面设置有水准管。本实用新型所述一种匀胶机，该匀胶机在盖板上设置有存胶、放胶结构，可以在加工过程中根据需要进行加放胶材料，设置有水平调平结构，防止设备放置不水平对加工过程带来不确定因素的影响。
一种匀胶机

[实用新型]水溶胶刷胶机-CN202221280442.2有效
发明人：陈杨;刘廷;刘航 -专利权人：武汉卓宜科技有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B05C1/08 文献下载
摘要：本实用新型提出了水溶胶刷胶机，其包括支架、盛胶盒、上胶装置和动力装置，其中，盛胶盒固定设置在支架上，盛胶盒内盛有水溶胶；所述动力装置包括动力辊和电机；动力辊转动设置在支架上，电机驱动动力辊转动；所述上胶装置包括匀胶辊和刮胶辊；匀胶辊和刮胶辊转动设置在支架上；匀胶辊紧贴刮胶辊设置，匀胶辊设置在盛胶盒内，匀胶辊用于蘸取盛胶盒内的水溶胶，刮胶辊随着匀胶辊转动过程中将匀胶辊表面的水溶胶涂抹均匀；动力辊与匀胶辊配合设置，动力辊和匀胶辊之间设置有纸板，动力辊转动过程中驱动纸板在动力辊和匀胶辊之间移动，并且驱动匀胶辊转动，刮胶辊与匀胶辊表面紧贴，对匀胶辊表面的水溶胶进行均匀化处理，避免水溶胶局部堆积。
溶胶刷胶机

[实用新型]一种手提纸袋机单辊匀胶机构-CN202120934014.6有效
发明人：李红波;林晓波;林晓宇 -专利权人：温州柏仕诚机械有限公司
申请日： 2021-05-02 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B31B70/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种手提纸袋机单辊匀胶机构，包括墙板，墙板之间安装有粘胶滚筒，粘胶滚筒下方设置有用于输送纸张的输送带，粘胶滚筒斜上方设置有匀胶轴，粘胶滚筒上安装有粘胶海绵，匀胶轴安装在匀胶轴安装板上，匀胶轴安装板可移动安装在支座上，支座与墙板固定连接，匀胶轴安装板上还安装有撑杆，撑杆上设置有安装底板，安装底板上设置有至少一个胶水斗；胶水斗包括刮胶板、刮胶板锁扣以及间距可调设置在刮胶板上端面的左边挡胶板和右边挡胶板，刮胶板由安装底板支承；刮胶板与匀胶轴之间具有间隙；刮胶板调节螺杆用于调节间隙大小。
一种手提纸袋机单辊匀胶机构

[实用新型]一种匀胶显影机用光刻胶回收装置-CN202020671612.4有效
发明人：陈炳添 -专利权人：厦门恒坤新材料科技股份有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及匀胶显影机技术领域，尤其涉及一种匀胶显影机用光刻胶回收装置，解决了现有技术在匀胶显影机的工作过程中会使用到较多的光刻胶，而这些光刻胶在旋转匀胶的过程中，会被甩落较多，造成资源的浪费的缺点，包括匀胶机，其外表面设置有控制面板，且匀胶机的底部设置有多个支脚，匀胶罐设置于匀胶机的顶部，且匀胶罐的内部安装有作业盘，所述匀胶罐的内部两侧均开设有安装槽及装载口，支板一侧设置有回收柜。本实用新型利用T型结构的安装杆及安装槽，实现支板与匀胶罐的组装连接，对晶圆片旋转匀胶过程中甩出的光刻胶进行回收二次利用，且通过装载口可方便的对安装杆进行分离组装，保持光刻胶的回收工作持续性进行。
一种显影用光回收装置

[实用新型]一种匀胶机-CN202321130055.5有效
发明人：徐江;李峃蔚 -专利权人：四川妙帮塑业有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机，包括匀胶机本体、匀胶碗、旋胶台、连接杆和控制器。本实用新型通过设置控制面板启动连接安装机构，使连接安装机构将旋胶台与连接杆进行稳定的拆卸安装，再通过控制面板启动定位密封机构对旋胶台与连接杆进行进行稳定的坻紧密封，解决了现有的匀胶机在使用中，往往需要根据使用需求，对匀胶机上的旋胶台进行拆卸更换，以方便匀胶机对不同大小的物品进行加工，但在实际的使用中，匀胶机上的旋胶台不仅不便于进行拆卸，还易因与真空泵之间的密封连接不紧密，导致旋胶台上生产的物品出现加工次品的情况，因此匀胶机在使用中不便于稳定的更换旋胶台，降低了匀胶机使用效果的问题。
一种匀胶机

[实用新型]一种匀胶环结构-CN202221778782.8有效
发明人：李慧敏;钟伟华;彭足超;李景浩 -专利权人：福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及匀胶技术领域，特别涉及一种匀胶环结构，包括嵌设在匀胶机的匀胶端的圆形开口处的环体，环体包括第一圆环、第二圆环和第三圆环，第一圆环和第二圆环均匀胶机的匀胶端的圆形开口内，第三圆环位于匀胶机的匀胶端的圆形开口的外部，第三圆环用于稳定固定在匀胶机的匀胶端上，第二圆环用于减小匀胶机的匀胶端的开孔面积，第一圆环能够防止真空吸盘甩开的胶液溅出，通过减小开放空间可降低溶剂挥发速度使整个晶圆片表面上光刻胶的粘度保持相对一致从而达到较均匀稳定的膜厚
一种匀胶环结构

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