[发明专利]一种肖特基电子源扩散锆源的制备方法及涂敷方法在审
| 申请号： | 202310892281.5 | 申请日： | 2023-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN116936316A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 方琦;郑磊;梁中鼎;朱荣帅;程协;杨韬 | 申请（专利权）人： | 安徽科昂新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J37/073 |
| 代理公司： | 合肥市科深知识产权代理事务所(普通合伙) 34235 | 代理人： | 刘汪丹 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试验区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种肖特基电子源扩散锆源的制备方法及涂敷方法，涉及电子源技术领域，相较于冷场发射电子源，具有锆氧涂层的肖特基电子源使用寿命更长、电子发射的能量势垒更低，且实现了电子发射时空间分辨率与稳定性之间的最佳组合。然而，扩散锆源对于肖特基电子源的性能有着直接的影响。为了提升扩散锆源本身的结构强度、减少肖特基电子源发射电子所需要等待的时间，来实现更佳的电子发射效果，我们设计了一种由乙酸异戊酯、硝化纤维素和氢化锆组成的扩散锆源浆料配方。同时为了提高涂敷的成功率，我们提供了一套解决方案包括涂敷方法和涂敷装置。最终，实现了肖特基电子源扩散锆源的高质量、高效率制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 肖特基 电子 扩散 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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