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[发明专利]一种肖特基电子源扩散锆源的制备方法及涂敷方法-CN202310892281.5在审
发明人：方琦;郑磊;梁中鼎;朱荣帅;程协;杨韬 -专利权人：安徽科昂新材料科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种肖特基电子源扩散锆源的制备方法及涂敷方法，涉及电子源技术领域，相较于冷场发射电子源，具有锆氧涂层的肖特基电子源使用寿命更长、电子发射的能量势垒更低，且实现了电子发射时空间分辨率与稳定性之间的最佳组合。然而，扩散锆源对于肖特基电子源的性能有着直接的影响。为了提升扩散锆源本身的结构强度、减少肖特基电子源发射电子所需要等待的时间，来实现更佳的电子发射效果，我们设计了一种由乙酸异戊酯、硝化纤维素和氢化锆组成的扩散锆源浆料配方。同时为了提高涂敷的成功率，我们提供了一套解决方案包括涂敷方法和涂敷装置。最终，实现了肖特基电子源扩散锆源的高质量、高效率制备。
一种肖特基电子扩散制备方法

[发明专利]一种可控长径比的钨丝针尖的制备装置及制备方法-CN201910031212.9有效
发明人：郑磊;黄钊;刘华荣;王学慧;程协 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C25F3/08 文献下载
摘要：本发明公开一种可控长径比的钨丝针尖的制备装置及制备方法，包括电动位移装置、电化学池、控制电路；所述电动位移装置固定待制备钨丝并可控制调节所述待制备钨丝在所述电化学池内的位置使所述待制备钨丝在所述电化学池内做提拉往复振动，所述控制电路与所述电动位移装置、所述电化学池连接形成刻蚀电路从而实现对所述电化学池内所述待制备钨丝的刻蚀；本发明利用提拉往复振动对所述待制备钨丝进行电化学刻蚀加工，通过所述提拉往复振动使电化学刻蚀产生的电化学产物加快向所述电解液中扩散，减小所述待制备钨丝端部形成区域的局部电化学产物浓度，以破坏抑制电化学反应速度的扩散层的形成，从而可提高电化学刻蚀的加工效率。
一种可控长径钨丝针尖制备装置方法

[发明专利]一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法-CN201910031214.8在审
发明人：郑磊;刘华荣;王学慧;程协 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： G01Q70/16 文献下载
摘要：本发明公开一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法，包括刻蚀调节装置、控制电路和电化学池，电极放置在电解液内，探针夹具将待制备铱丝的端部放置在电解液内，可变压交流电压源的正负极通过控制电路分别与电极和探针夹具连接形成刻蚀电路；刻蚀调节装置调节所述待制备铱丝伸入所述电解液液面下的长度尺寸；控制电路采集刻蚀电路中有效的实时电流值并控制刻蚀电路的连通或断开；本发明通过所述控制电路控制刻蚀的终点，可以精确的控制刻蚀电压切断时间，操作方便，制备的铱针尖曲率半径小，重复性好，容易获得铱丝刻蚀的最佳条件，使制备的针尖保持较好的形貌，且具有较高的成功率和较好的重现性。
制备刻蚀控制电路针尖刻蚀电路铱丝电化学制备调节装置探针夹具电解液金属铱电极形貌电解液液面交流电压源电化学池电压切断实时电流最佳条件正负极重现性可变断开伸入成功率连通采集