[发明专利]声表面波滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 202310825701.8 | 申请日： | 2023-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN116865710A | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋品方;张磊;王跃海;刘增涛;林红宽 | 申请（专利权）人： | 唯捷创芯（天津）电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王思琦 |
| 地址： | 300457 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种声表面波滤波器及其制造方法，在衬底上形成墙体结构，所述墙体结构具有多个腔体，一个所述腔体对准一个叉指换能器，再形成覆盖墙体结构的盖体结构，由此，降低了容置叉指换能器的空腔结构的跨度，提高了结构的稳定性，从而提高了声表面波滤波器的质量与可靠性。进一步的，墙体结构和盖体结构分别形成，降低了工艺难度，提高了工艺质量与可靠性。更进一步的，相邻两个所述腔体之间连接有至少一个连通道，在形成盖体结构时，可以提高所形成的盖体结构的质量，从而提高了声表面波滤波器的质量与可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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