[发明专利]一种原子层沉积涂布设备

摘要

本发明公开了一种原子层沉积涂布设备，涉及金属材料镀覆技术领域。本发明包括底板，所述底板的顶面中部设置有转动控制组件，所述转动控制组件顶部设置有安装筒，所述安装筒表面设置有高度控制组件，所述高度控制组件的顶部设置有支撑板，所述支撑板顶部固定连接有放置台，所述底板的顶部固定连接有反应室，所述反应室底部贯通开设有与支撑板相适配的出入口，所述反应室表面设置有原子层沉积组件，所述底板的顶面前侧固定连接有固定架，在使用中实现了便于对基材进行自动化原子层沉积加工的效果，能够对基材进行自动化上下料，有效提升了加工效率，也避免了人工拿取基材时导致掉落损坏的情况，使得加工过程中更加便捷。