[发明专利]MEMS麦克风、电子设备及MEMS麦克风的制备方法在审
申请号: | 202310722140.9 | 申请日: | 2023-06-16 |
公开(公告)号: | CN116887156A | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 邹泉波 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R31/00 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 吴秀娥 |
地址: | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种MEMS麦克风、电子设备及MEMS麦克风的制备方法,所述MEMS麦克风包括基底、第一振膜、背极和第二振膜,所述基底上形成有声腔;所述背极设置于所述基底上,所述背极朝向所述第一振膜的一侧设置有第一支撑结构,所述背极远离所述第一振膜的一侧设置有第二支撑结构;所述第二振膜设置于背极上,所述第二振膜与所述背极之间形成有第二间隙,所述第一振膜和/或所述第二振膜为石墨烯振膜,以能够利用石墨烯材料良好的弹性模量和抗拉强度等特性,降低第一振膜和/或第二振膜的厚度,从而降低MEMS麦克风的整体尺寸,提高了MEMS麦克风的应用范围。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 电子设备 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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