[发明专利]一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202310678889.8 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116639955A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 顾德盛;邵学亮;李开杰;罗斯诗;张兴宇 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 黄迅 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于氧化物靶材制备技术领域，公开了一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法。所述制备方法为：按摩尔比为90.5～92.5:1.5～2.5:3～5:1.5～2.5称取氧化铟、氧化钛、氧化钽和氧化铈粉末，然后与分散剂加入到纯水中搅拌分散均匀，湿法研磨得到浆料一；再加入氧化铟粉末、分散剂和水经过湿法研磨得到浆料二；再加入粘结剂混合后经过湿法研磨得到浆料三；通过喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到混合粉末；最后经过模压和冷等静压后脱脂、烧结，得到氧化铟掺杂钛钽铈靶材。本发明通过限定各氧化物粉末的成分配比及配合特定的制备工艺，可显著提高靶材的各项性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 掺杂 钛钽铈靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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