[发明专利]一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤：

(1)按摩尔比为90.5～92.5:1.5～2.5:3～5:1.5～2.5称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、氧化钽粉末和氧化铈粉末；

(2)将第一分散剂加入到纯水中搅拌分散均匀，然后加入步骤(1)中称取好的氧化钛粉末、氧化钽粉末和氧化铈粉末搅拌分散均匀，经过湿法研磨得到浆料一；

(3)将步骤(1)中称取好的氧化铟粉末、第二分散剂和补加水加入浆料一，经过湿法研磨得到浆料二；

(4)向步骤(3)所得的浆料二中加入粘结剂，分散均匀后，经过湿法研磨得到浆料三；

(5)将步骤(4)中得到的浆料三通过喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到氧化铟钛钽铈粉末；

(6)将步骤(5)所得氧化铟钛钽铈粉末加入模具经过模压和冷等静压后，进行脱脂、烧结，得到氧化铟掺杂钛钽铈靶材。

2.根据权利要求1所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述第一分散剂和步骤(3)中所述第二分散剂为PVP、SDBS或十六烷基苯磺酸钠中的一种；所述第一分散剂的加入量占浆料一总质量的1％～10％；所述第二分散剂的加入量为氧化铟粉末、第二分散剂和补加水总质量的1％～10％。

3.根据权利要求2所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述湿法研磨是指采用卧式砂磨机研磨5～12h，研磨的转速为800～1600r/min；步骤(3)中所述湿法研磨是指采用卧式砂磨机研磨4～10h，研磨的转速为800～1600r/min。

4.根据权利要求3所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述浆料一的固含量为45％～65％；浆料一的粒径D50＜5μm；步骤(3)中所述浆料二的固含量为45％～65％；浆料二的粒径D50＜3μm。

5.根据权利要求1所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(4)中所述粘结剂为PVA与PEG的混合剂、PVA或PVB；粘结剂的加入量为浆料三中固体总质量的1％～10％。

6.根据权利要求5所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(4)中所述湿法研磨是指采用卧式砂磨机研磨3～7h，研磨的转速为800～1600r/min。

7.根据权利要求6所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(4)中所述浆料三的固含量为45％～65％；浆料三的粒径D50＜3μm。

8.根据权利要求1所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(6)中所述模压的压力为30～95Mpa，成型时间为60～180s；所述冷等静压的压力为200～500Mpa，成型时间为60～180s。

9.根据权利要求1所述的一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，步骤(6)中所述脱脂温度为500～600℃，保温时间为10～15h，升温速率为0.3～0.6℃/min；所述烧结温度为1300～1550℃，升温速率为0.3～2℃/min，保温时间为4～12h。

10.一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材，其特征在于，通过权利要求1～9任一项所述的方法制备得到。