[发明专利]一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构在审
| 申请号： | 202310431222.8 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN116253157A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 陈海峰;郑才忠;王跃伟 | 申请（专利权）人： | 深圳力钛科技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人： | 张文兴 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体光刻机用光刻板防震型移动机构，包括支架和移动架，所述支架的内部滑动设置有移动架，所述移动架的内部设置有放置组件。本发明通过两个第一定位架和两个第二定位架对光刻板的四周进行定位，避免光刻板在输送过程中由于设备的震动导致位置发生偏移或是从设备上掉落下来，提高对光刻板的加工位置精度，同时也提高了光刻板在运输过程中的安全稳定性；并且在对光刻板的底部进行光刻加工时，通过转动电机带动放置架进行翻转，让光刻板的底部朝向上方，继续对光刻板的底部进行光刻加工，在控制放置架进行翻转时，通过定位板和托板保证光刻板的稳定性，实现对光刻板上下端面加工时位置的自动调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 光刻 用光 刻板 防震 移动 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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