[发明专利]一种用于磷光测温功能涂层的陶瓷靶材的制备方法在审

专利信息
申请号: 202310129720.7 申请日: 2023-02-17
公开(公告)号: CN116409992A 公开(公告)日: 2023-07-11
发明(设计)人: 牟仁德;刘德林;何利民;杨文慧 申请(专利权)人: 中国航发北京航空材料研究院
主分类号: C04B35/505 分类号: C04B35/505;C04B35/622;G01K11/20;C23C14/34;C23C14/08
代理公司: 中国航空专利中心 11008 代理人: 陈宏林
地址: 100095 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明是一种用于磷光测温功能涂层的陶瓷靶材的制备方法,该方法以具有磷光测温功能的Eu2O3、Y2O3等氧化物为原料,采用固相合成、烧成结合冷等静压成型获得具有良好沉积性能的陶瓷靶材。该方法通过控制球磨工艺、煅烧温度和保温时间、冷等静压成型压力和保压时间、烧成温度和升温速率等工艺参数,制备的靶材无裂纹、晶相稳定、杂质含量低、微观晶粒尺寸均匀且小于5μm,满足电子束物理气相沉积工艺无飞溅、熔化均匀、熔池稳定、所得涂层成分和性能稳定的技术要求。
搜索关键词: 一种 用于 磷光 测温 功能 涂层 陶瓷 制备 方法
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说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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