[发明专利]一种存储芯片早期擦写失效筛选方法及测试系统在审

专利信息
申请号: 202310054309.8 申请日: 2023-02-03
公开(公告)号: CN116072198A 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 沈杨 申请(专利权)人: 普冉半导体(上海)股份有限公司
主分类号: G11C29/06 分类号: G11C29/06;G11C29/08;G11C29/50
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 代理人: 杨华廷
地址: 201210 上海市浦东新区中国(上海)自*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请涉及一种存储芯片早期擦写失效筛选方法及测试系统。筛选方法包括步骤:获取晶圆上所有存储单元的第一电压数据;进行第一可靠性测试后获取第二电压数据,并得到第一电压衰减值分布;根据该分布筛选出第一可靠性测试后的失效芯片和离散度超过第一离散度的有效芯片;将这些有效芯片进行第二可靠性测试,测试结束后获取存储单元的第三电压数据;根据第三电压数据确定不合格的存储单元,根据不合格的存储单元的第一电压衰减值确定目标卡控值,以通过第一可靠性测试对同批次的晶圆芯片进行早期擦写失效筛选。测试系统基于上述方法并包括电压数据获取模块、可靠性测试模块、分析计算模块和筛选模块。本申请可实现更加全面的早期擦写失效筛选。
搜索关键词: 一种 存储 芯片 早期 擦写 失效 筛选 方法 测试 系统
【主权项】:
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