[实用新型]一种MOCVD过滤器及尾气处理系统

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD过滤器及尾气处理系统，涉及尾气处理技术领域，该MOCVD过滤器包括第一壳体、第二壳体以及设于第一壳体与第二壳体之间的滤芯；滤芯包括金属网以及被金属网包裹的滤材，金属网和滤材均为折叠型结构；第一壳体的边缘于靠近滤芯一侧设有第一凹槽，第一壳体中部贯穿设有通孔，第一壳体于通孔朝向远离滤芯的一侧延伸出一进气管，用于尾气通过进气管进气进行过滤；第二壳体的边缘于靠近滤芯一侧设有第二凹槽，第一凹槽以及第二凹槽分别卡接滤芯的两端以固定滤芯。本实用新型能够解决现有技术中滤芯匝数少、易变形以及外壁会残留副产物，导致滤芯寿命短、密封效果差及存在安全隐患的技术问题。