[发明专利]一种液氦制冷平台的高精度位移控制装置在审

专利信息
申请号: 202211694916.2 申请日: 2022-12-28
公开(公告)号: CN116015122A 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 王世敏;唐亚楠;雎长城;蒋尚池 申请(专利权)人: 南京迈塔光电科技有限公司
主分类号: H02P8/40 分类号: H02P8/40;H02N2/06;G01B11/00
代理公司: 南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411 代理人: 孙斌
地址: 210000 江苏省南京市江北新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及液氦制冷平台控制系统技术领域,具体涉及一种液氦制冷平台的高精度位移控制装置;包括液氦冷台、XY位移台、转接板、步进电机模块、压电驱动模块和计算机,步进电机模块包括第一步进电机、第二步进电机、第一光栅编码器、第二光栅编码器和步进电机控制盒,第一步进电机贯穿XY位移台,第一光栅编码器和第二光栅编码器设置于XY位移台的内部,第二步进电机设置于XY位移台的外侧,步进电机控制盒设置于XY位移台外侧,通过步进电机模块提供大范围移动,行程可达50mm,压电驱动模块提供高精度位移,位移精度可达20nm,第一光栅编码器和第二光栅编码器提供位置反馈,实时获取样品实际位置,满足液氦冷台位移测试需求。
搜索关键词: 一种 制冷 平台 高精度 位移 控制 装置
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  • 本发明涉及一种模板机驱控一体化电箱,包括箱体,箱体内设置有控制驱动板,控制驱动板上设置有运动控制电路、伺服驱动电路、步进驱动电路、IO输入与输出电路和电源电路,电源电路与伺服驱动电路和步进驱动电路的动力接口连接,运动控制电路的芯片通过CAN总线电路与伺服驱动电路的伺服芯片、步进驱动电路的步进芯片及I0输入与输出电路的I0芯片连接,控制驱动板包括箱体下部通过下部安装装置安装的下部电路板和中部电路板及箱体上部通过上部安装装置安装的上部电路板;从结构上将电路板进行分层安装,从电路上通过电路板上的CAN总线进行运动芯片与驱动芯片的连接,减少电箱内的插接线路,缩小驱控一体的箱体体积。
  • 一种伺服系统-202210477834.6
  • 吴浩;陈标发;张金泽;张强;乔志超;马茜茜 - 广东科伺智能科技有限公司
  • 2022-05-05 - 2022-07-15 - H02P8/40
  • 本申请公开了一种伺服系统,包括逆变模块、编址模块和触发装置,其中编址模块连接若干逆变模块,逆变模块和触发装置一一对应连接;触发装置,用于响应用户操作,生成触发信号,并发送到对应的逆变模块;逆变模块,用于生成CAN ID识别码,上传CAN ID识别码和模块信息至编址模块,及在接收到触发装置发送的触发信号后,发送包含CAN ID识别码的识别帧至编址模块;编址模块,用于接收各逆变模块上传的CAN ID识别码和模块信息,以及,顺序接收各逆变模块上传的识别帧,并依据CAN ID识别码、模块信息和各识别帧的接收顺序,确定各逆变模块的目标地址。本申请生成的目标地址与各逆变模块连接的触发装置的触发顺序相关,实现以需要的排序对各逆变模块进行编址。
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