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- [实用新型]一种晶圆解胶去环装置-CN202321138259.3有效
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赵裕兴;杨磊
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-05-12
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2023-10-27
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H01L21/683
- 本实用新型涉及一种晶圆解胶去环装置，包括吸附对位载台组件、Y向对位轴、Z向升降轴、θ旋转轴、右剥刀组件和左剥刀组件；吸附对位载台组件的正上方设置有Y向对位轴，Y向对位轴可驱动上方的Z向升降轴沿着Y轴方向移动，Z向升降轴可驱动θ旋转轴沿着Z轴方向移动，θ旋转轴用于抓取位于吸附对位载台组件上的晶圆，右剥刀组件和左剥刀组件分别位于吸附对位载台组件上沿着X轴方向的两侧，且用于对晶圆上的废料环剥离处理。本实用新型是针对激光切割方式去环而研制的一种便于外围的晶圆环和内部晶圆分离的装置，采用双侧的UV灯照射和双侧滚轮剥刀，提高解胶去环的效率。
- 一种晶圆解胶去环装置
- [发明专利]集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置-CN202310931938.4在审
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赵裕兴;李京京
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-07-27
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2023-10-13
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B05C5/02
- 本发明涉及集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，减速机安装板和防水组件安装板连接于摆臂组件固定板上，减速机固定在减速机安装板上，伺服电机主轴与减速机输入轴连接，防水组件固定在防水组件安装板上，支撑杆穿过防水组件且旋转支撑于防水组件上，支撑杆一端与减速机输出轴连接，支撑杆为中空结构，支撑杆上安装水路接头一，支撑杆另一端连接卡套弯头，卡套弯头连接气管固定块一，支撑杆供水通道经过卡套弯头的内腔与气管固定块一的内腔相通，气管固定块一上连接一水路接头二，气管固定块一上固定摆臂钣金件，水气喷嘴组件、涂胶喷嘴组件和气管固定块二固定于摆臂钣金件上，清洁载台喷嘴固定于气管固定块二上，对晶圆涂胶与清洗及载台清洁。
- 集晶圆涂胶清洗一体装置
- [发明专利]一种晶圆解胶去环装置-CN202310533716.7在审
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赵裕兴;杨磊
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-05-12
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2023-09-29
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H01L21/683
- 本发明涉及一种晶圆解胶去环装置，包括吸附对位载台组件、Y向对位轴、Z向升降轴、θ旋转轴、右剥刀组件和左剥刀组件；吸附对位载台组件的正上方设置有Y向对位轴，Y向对位轴可驱动上方的Z向升降轴沿着Y轴方向移动，Z向升降轴可驱动θ旋转轴沿着Z轴方向移动，θ旋转轴用于抓取位于吸附对位载台组件上的晶圆，右剥刀组件和左剥刀组件分别位于吸附对位载台组件上沿着X轴方向的两侧，且用于对晶圆上的废料环剥离处理。本发明是针对激光切割方式去环而研制的一种便于外围的晶圆环和内部晶圆分离的装置，采用双侧的UV灯照射和双侧滚轮剥刀，提高解胶去环的效率。
- 一种晶圆解胶去环装置
- [实用新型]晶圆贴膜用贴膜辊检测装置-CN202320602241.8有效
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赵裕兴;王乾宝
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-03-24
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2023-09-19
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G01B5/14
- 本实用新型公开了一种晶圆贴膜用贴膜辊检测装置，包括V形块一、外导轨、内导轨和V形块二，外导轨的左侧安装有V形块一，外导轨的右侧安装有内导轨，内导轨可在外导轨内沿着左右方向移动，内导轨的右侧安装有V形块二，内导轨的前端面上沿着左右方向安装有刻度尺。本实用新型用于对贴膜辊水平度、平行度以及间距的检测，确保安装精度，确保实现较好的贴膜效果，可提高生产效率；通过设置刻度尺能够清楚查看各个辊子间隙，方便后续调平；通过设置V形块一和V形块二可以在不同直径辊子直径进行检测；通过设置调整旋钮，能够固定内导轨在不同位置，便于检测后对比不同的距离。
- 晶圆贴膜用贴膜辊检测装置
- [实用新型]铌酸锂材料激光无尘打标装置-CN202320478045.4有效
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赵裕兴;姬夫强
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-03-14
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2023-09-19
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B23K26/70
- 本实用新型涉及铌酸锂材料激光无尘打标装置，沿光路依次设置有纳秒紫外激光器、光斑整形模组、功率实时反馈调节模组、扫描振镜以及聚焦镜，光斑整形模组包含依光路传输方向设置的扩束镜、匀光组件和光斑选择模组，功率实时反馈调节模组包含依光路传输方向设置的玻片和分光镜，电机与玻片驱动连接，能带动玻片转动，分光镜的反射光路上布置有功率计，分光镜的透射光路上布置有反射单元，反射单元的反射光路上衔接扫描振镜，聚焦镜的输出端正对于加工平台上的铌酸锂材料。采用合适波长、峰值功率和脉宽的激光器，光斑整形模组提供多光斑选择和均匀能量密度分布，获得合适的打标点径和深度；功率实时反馈调节模组实时控制打标激光的能量稳定。
- 铌酸锂材料激光无尘打标装置
- [实用新型]高稳定性直线电机装置-CN202321342694.8有效
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赵裕兴;张鑫
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-05-30
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2023-09-19
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H02K9/04
- 本实用新型涉及高稳定性直线电机装置，底座的中间位置安装定子，定子的两侧平行设置有导轨，底座的两端部固定有侧板，导轨上滑动配置有动子座，动子座的底部安装有动子，两侧板之间架设一顶盖，顶盖位于动子座之上并辐射动子座的运动范围，侧板的外侧面固定风机组件，顶盖的顶部布置有两排导气管，导气管上均匀安装有多个喷嘴，喷嘴均朝向顶盖的外侧，风机组件包含安装仓、散热扇和气罩，安装仓固定于侧板上，安装仓内安装散热扇，安装仓远离侧板的一端安装有气罩，导气管的输入端插入至气罩内。在装置两侧形成气幕，避免碎屑及颗粒杂质进入到装置内部；动子座内设置气槽，喷嘴排出的气体进入到气槽内部，加快对线圈热量的排放。
- 稳定性直线电机装置
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