[发明专利]一种柔性光电压电一体式传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211564937.2 | 申请日： | 2022-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN115996622A | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 朱兵兵;宁玲 | 申请（专利权）人： | 三序光学科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H10N39/00 | 分类号： | H10N39/00;H01L27/144;H01L31/0296;H01L31/0352;H01L31/0392;H01L31/102;H01L31/18;H01L31/0216;H10N30/01;H10N30/06;H10N30/093;H10N30/853;H10N30/87 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 王会 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性光电压电一体式传感器及其制备方法，该传感器包括柔性衬底，柔性衬底表面结区生长有三维纳米结构，柔性衬底底部设电极，三维纳米结构表面覆盖有石墨烯层，石墨烯层通过导电电极引出。本发明中，利用柔性衬底实现了器件的柔性弯曲，利用三维簇状氧化锌阵列的构建实现更高的器件柔韧性，同时增强了陷光作用；利用石墨烯层作为顶层透明电极，在压电传感器中可有效收集分离的电荷，在光电探测器中，石墨烯作为异质结的一部分用于光生载流子分离实现光电探测，实现了光电压电一体式传感器的构建；三维纳米结构的密度和长度均可调节，能够匹配不同的压力传感探测的需求，通过调控石墨烯层的层数可调控器件对红外光的探测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 光电 压电 体式 传感器 及其 制备 方法 | ||
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