[发明专利]一种基于全息相位分束的光纤并行激光直写方法及系统有效
| 申请号： | 202211053614.7 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115639729B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;温积森;徐良;朱大钊;丁晨良 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/10;G02B27/16;G02B27/28;G02B6/04 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于全息相位分束的光纤并行激光直写方法和系统，本发明将一水平偏振方向的激光入射至空间光调制器的液晶面元，所述的空间光调制器加载不同的全息相位图实现对入射光束的分束并调整分束后各个子光束的位置，从而实现良好地耦合进光纤阵列。光纤阵列通过光开光模块实现每一路光的开关。通过每路光的开关以及三维位移台的移动，实现三维大面积的微纳结构直写，本发明的直写效果更加丰富，直写效率进一步提高，有效解决了现有激光直写系统直写速度慢分辨率低等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 全息 相位 光纤 并行 激光 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室;浙江大学，未经之江实验室;浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211053614.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可延伸式高安全性的消防救援窗
- 下一篇：一种从单张图像捕获织物外观的方法
