[发明专利]一种TVS芯片的制备方法

摘要

本发明提供一种TVS芯片的制备方法，涉及TVS芯片技术领域。该TVS芯片的制备方法，包括以下步骤S1、使用超声波清洗装置，在清洗液的作用下，对硅片进行初步清洗，清洗后进行氧化，形成氧化膜，S2、对S1处理后的硅片，涂覆光刻胶，利用光刻设备，对硅片进行光刻，形成需要的开沟区，S3、将S2处理后的硅片，放入腐蚀液，形成浅沟，利用检测设备，对浅沟进行初步检测，S4、将S3合格后的硅片，放入清洗液中，去除硅片表面的光刻胶，增加了腐蚀后的检测步骤，同时与后续测试步骤相互配合，一方面保证腐蚀的结果完整性，减小生产的不良率，减少生产成本，另一方面，保证TVS芯片功能的正常。