[发明专利]垂直腔面发射激光器制造方法及垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202210543658.1 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114927938A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 李加伟;赖铭智 | 申请（专利权）人： | 苏州长瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 215024 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器制造方法，所述垂直腔面发射激光器包括自下而上依次排列的有源层、氧化限制层、上反射层、上电极，氧化限制层中间设置有氧化孔，上电极中间设置有与所述氧化孔同心且孔径大于氧化孔孔径的出光孔，上反射层中设置有与所述出光孔垂直方向投影同心的环状高电阻区，环状高电阻区的内径大于出光孔孔径；本发明提前制作上电极，并在上电极制作过程中以上电极金属膜作为掩模进行质子注入，形成环状高电阻区，然后对上电极金属膜进行刻蚀，从而得到与环状高电阻区准确对准的上电极。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器。本发明可有效消除对位偏差所导致的电流拥挤问题，降低寄生电容，提高激光器数据传输带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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