[发明专利]MEMS产品及电子设备在审
申请号: | 202210465611.8 | 申请日: | 2022-04-29 |
公开(公告)号: | CN115057407A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 刘诗婧;杨杰 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81B7/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 王迎;袁文婷 |
地址: | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种MEMS产品及电子设备,其中的MEMS产品包括PCB、设置在PCB上的MEMS芯片;其中,PCB包括至少两层应力隔离铜层,在应力隔离铜层上设置有挖空区;在沿各应力隔离铜层的层叠方向上,位于各应力隔离铜层上的各挖空区依次呈阶梯状分布;阶梯状分布的挖空区用于隔离传递至MEMS芯片的应力。利用上述发明能够增强MEMS芯片的抗应力干扰能力,提高产品的稳定性。 | ||
搜索关键词: | mems 产品 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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