[发明专利]掩膜板、蒸镀方法以及显示面板在审
| 申请号： | 202210417419.1 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN114737152A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王守坤;秦韶阳 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种掩膜板、蒸镀方法以及显示面板，掩膜板，用于在基板上蒸镀膜层，掩膜板具有第一蒸镀状态和张网状态，掩膜板包括边框部、蒸镀开口、遮挡部以及第一连接部。边框部围绕蒸镀开口设置，遮挡部位于蒸镀开口内；第一连接部可转动地连接于边框部和遮挡部之间，第一连接部包括相交设置的第一侧面和第二侧面。在第一蒸镀状态下，第一侧面位于连接部沿掩模板的厚度方向的一侧，且第一侧面在基板上具有第一正投影；在张网状态下，第二侧面位于连接部沿掩膜板的厚度方向的一侧，且第二侧面在基板上具有第二正投影，第二正投影的面积大于第一正投影的面积。本申请实施例中减小第一连接部对蒸镀效果的影响，同时确保遮挡部与边框部的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 方法 以及 显示 面板 | ||
【主权项】：
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