[发明专利]一种类金刚石厚膜及其制备方法有效
申请号: | 202210111435.8 | 申请日: | 2022-01-29 |
公开(公告)号: | CN114481027B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 马国佳;刘星;孙刚;余庆陶;马贺;武壮壮 | 申请(专利权)人: | 中国航空制造技术研究院 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/32;C23C14/35 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100024 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及表面工程技术领域,特别是涉及一种类金刚石厚膜的制备方法。该类金刚石厚膜的制备方法首先采用超声波清洗、气体离子束清洗去除基体表面污染物及氧化层,然后利用等离子体辅助磁控溅射沉积方式在基体上沉积过渡层,再利用超快激光在过渡层上刻蚀微结构,最后利用超快激光阴极弧沉积方式在微结构上沉积DLC膜层,从而实现高质量、性能优异、大厚度DLC耐磨润滑涂层的高效制备。 | ||
搜索关键词: | 种类 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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