[发明专利]高电压供应电压的噪声降低在审
| 申请号： | 202180039141.2 | 申请日： | 2021-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN115668432A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | D·密特斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248;G05F1/46;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可包括噪声降低单元(MNRU)和偏压设置单元(BSU)的方法和高电压(HV)系统。HV系统可在高电压供应线上从HV供应单元接收HV供应信号。HV供应单元、MNRU、BSU和HV带电粒子系统可共享接地。至少MNRU可检测HV供应信号中的噪声，并且通过接地发送噪声补偿信号。BSU可接收关于偏压电压的请求值的指示，并且将偏压电压施加至经噪声补偿的HV信号，以将经偏压的和经噪声补偿的HV信号提供至HV带电粒子系统。 | ||
| 搜索关键词： | 电压 供应 噪声 降低 | ||
【主权项】：
暂无信息
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