[实用新型]一种用于抛光ITO导电玻璃材料的抛光垫

摘要

本实用新型公开了一种用于抛光ITO导电玻璃材料的抛光垫，其特征在于：包括抛光垫，抛光垫上设有导液槽，抛光液流入导液槽中，抛光垫引入抛光液后与抛光上盘在同一平面，抛光垫内设有抛光粉。抛光垫为圆形，导液槽均匀分布在抛光垫上。抛光垫的硬度为30‑50HA，抛光垫内抛光粉粒径为1.0‑1.5μm。通过调整抛光垫硬度和抛光粉粒径后可以使抛光垫与抛光上盘很容易达到一个平面，达到产品均匀性要去，降低抛光垫内抛光粉粒径后，抛光划痕不良也得到明显下降。将本实用新型的抛光垫投入生产工艺进行生产后，不仅降低了生产成本及调试时间，又能提升产品品质及生产良率，避免了生产过程中不稳定造成的客户投诉。