[发明专利]用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜在审
| 申请号： | 202111570847.X | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN115410887A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 田源;杨冬;李中文;李俊;田焕芳;杨槐馨;李建奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/075 | 分类号： | H01J37/075;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于将脉冲激光引入电子枪的激光引入装置，其中电子枪包括具有空腔的主体、阳极帽、布置在所述主体顶壁上的电子枪灯丝，以及包围所述电子枪灯丝并具有栅极帽孔的栅极帽；主体的侧壁上具有第一窗口，底壁上具有与栅极帽孔相对布置的第一出射孔或通道，阳极帽布置在第一出射孔上；激光引入装置包括：布置在主体内的反射组件；反光装置，反光装置布置在阳极帽顶面以朝向栅极帽，反射组件被设置为从第一窗口入射并经过所述反射组件引导的脉冲激光能够被反光装置反射以穿过栅极帽孔照射电子枪灯丝。根据本声明的激光引入装置能够将超快光源以更佳入射角度引入现有扫描电镜并消除电场畸变，具有更低的成本和更高的探测性能和适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子枪 激光 引入 装置 包括 扫描电镜 | ||
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