[发明专利]一种镍基合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202111548176.7 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114293159A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 王兰;黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/03;C22C19/05;C22F1/10;C21D9/08;B21C37/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镍基合金靶材的制备方法，属于金属靶材制备领域。该方法包括以下步骤：首先将铝和钇一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到铝钇中间合金熔液，然后浇铸到模具中得到铝钇中间合金；其次将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到镍铬铝钇硅硼熔液，然后浇铸到模具中得到镍基六元合金实心圆锭坯；最后将镍基六元合金实心圆锭坯依次进行热等静压处理、热挤压处理、退火、校直冷却、机加工后，得到镍铬铝钇硅硼管靶。该方法大幅度提高了镍基合金的致密度，细化晶粒，克服了高、低熔点物的偏析问题，同时有效地降低了氧含量，缩孔，气孔等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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