[发明专利]一种气体分流装置和带该装置的等离子体加工设备

摘要

本发明公开了一种气体分流装置和带该装置的等离子体加工设备，涉及设备加工制造领域，主要用于解决现有等离子表面处理工艺中气体排出不均匀、气体输送、气流量控制不稳定造成产品的外观、形状、质量产生瑕疵的问题。其主要结构包括：多个独立的分流腔，分流腔进气端设置一级流量控制阀，出气端设置喷淋头。本发明提供的一种气体分流装置和带该装置的等离子体加工设备，确保反应腔内的等离子体的能量、密度均匀，使得产品经处理后外观质量均匀一致，保证了产品质量。