[发明专利]金属镀膜的成膜方法及成膜装置

摘要

提供能够抑制多孔质膜破损的金属镀膜的成膜方法及成膜装置。本发明的金属镀膜的成膜方法采用固相置换型无电解镀法在金属基材表面形成金属镀膜，其特征在于，具备准备工序和成膜工序，上述准备工序进行成膜装置的准备，上述成膜装置具有壳体、金属基材、多孔质膜和无电解镀液，上述壳体至少具有底壁和包围上述底壁的侧壁，且在内侧设有收纳空间，上述金属基材配置在上述壳体内侧的底面上，上述多孔质膜配置在上述金属基材的表面上，上述无电解镀液收纳在上述收纳空间中，上述成膜工序通过使用上述成膜装置，将来自上述多孔质膜内部所含的上述无电解镀液中的金属离子还原而使其在上述金属基材表面析出，由此在上述金属基材表面形成金属镀膜。