[发明专利]一种功能性聚合物和底部抗反射涂层组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 202111201717.9 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN113929810B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 马丽丽;王静;毛鸿超;宋里千;肖楠 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/06;C08F220/20;C08F220/32;C09D133/10;C09D5/00;G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 赖秀华 |
| 地址： | 361027 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种功能性聚合物和底部抗反射涂层组合物及其制备方法。所述功能性聚合物具有式(1)所示的结构，这种特定结构的功能性聚合物能够赋予底部抗反射涂层组合物良好的附着力、流平性和膜收缩率。此外，含有这种特定结构的抗反射涂层组合物可溶于水碱性显影液中，减少了刻蚀工艺，减少一定的刻蚀能量。 |
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| 搜索关键词： | 一种 功能 聚合物 底部 反射 涂层 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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