[发明专利]一种聚醚高聚物和抗反射涂层溶液及其制备方法有效
| 申请号： | 202111201706.0 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN113929900B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王雪枫;肖楠;王静;宋里千;毛鸿超 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C08G65/34 | 分类号： | C08G65/34;C09D171/08;C09D5/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 赖秀华 |
| 地址： | 361027 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体领域，涉及一种聚醚高聚物和抗反射涂层溶液及其制备方法。所述聚醚高聚物通过将四烷氧甲基甘脲中间体与二醇进行缩合反应得到，且所述聚醚高聚物的重均分子量为5000～20000g/mol。本发明通过在由四甲氧基甲基甘脲与二醇类化合物缩聚形成的聚醚主链上引入PGME链段，由此能够使所得聚醚高聚物本身的稳定性得以明显提升，由该聚醚高聚物与产酸剂和有机溶剂以及任选的表面活性剂组成的底部抗反射溶液以及相应的底部抗反射涂层的稳定性同样能够得以显著提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚醚高聚物 反射 涂层 溶液 及其 制备 方法 | ||
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