[发明专利]一种功能性聚合物和底部抗反射涂层组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种功能性聚合物，其特征在于，所述功能性聚合物具有如式(1)所示的结构：

式(1)中，R₁为-O-R-、C₁-C₃₀的亚烷基或者不存在，R为C₁-C₃₀的亚烷基；R₂为C₆-C₂₀的芳基或C₆-C₂₀的杂芳基；R₃为C₁-C₁₀的烷基；R₄为C₁-C₃₀的亚烷基、C₁-C₃₀的亚杂烷基或者不存在；R¹、R²、R³和R⁴各自独立地为H或C₁-C₅的烷基；a、b、c和d分别为以上四种重复单元占聚合物总重复单元的摩尔分数，且a:b:c:d的比例为(5％～50％):(5％～50％):(5％～50％):(5％～50％)；

所述功能性高分子聚合物的重均分子量为3000～10000道尔顿，分子量分布为1.6～3.8。

2.根据权利要求1所述的功能性聚合物，其特征在于，式(1)中，R₁为-O-R-、C₁-C₅的亚烷基或者不存在，R为C₁-C₅的亚烷基；R₂为C₆-C₁₀的芳基或C₆-C₁₀的杂芳基；R₃为C₁-C₅的烷基；R₄为C₁-C₅的亚烷基或者不存在；R¹、R²、R³和R⁴各自独立地为H或C₁-C₃的烷基。

3.权利要求1或2所述的功能性聚合物的制备方法，其特征在于，该方法包括：在惰性气体保护下，将式(2)所示的第一丙烯酸系单体、式(3)所示的第二丙烯酸系单体、式(4)所示的第三丙烯酸系单体和式(5)所示的第四丙烯酸系单体在引发剂的存在下进行自由基聚合反应；

R₁、R₂、R₃、R₄、R¹、R²、R³和R⁴的定义同上。

4.根据权利要求3所述的功能性聚合物的制备方法，其特征在于，所述自由基聚合反应的条件包括温度为70～90℃，时间为1～10h。

5.一种底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述底部抗反射涂层组合物含有权利要求1或2所述的功能性聚合物、交联剂、产酸剂及溶剂。

6.根据权利要求5所述的底部抗反射涂层组合物，其特征在于，以所述底部抗反射涂层组合物的总重量为基准，所述功能性聚合物的含量为5～20wt％，所述交联剂的含量为0.1～10wt％，所述产酸剂的含量为0.1～10wt％，所述溶剂的含量为70～90wt％。

7.根据权利要求6所述的底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述交联剂为甘脲化合物；所述产酸剂为热致产酸剂和/或辐射致光敏产酸剂；所述溶剂选自丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚和乳酸乙酯中的至少一种。