[发明专利]一种基于PT对称原理的MEMS谐振式磁场传感器及其使用方法有效

专利信息
申请号: 202111137121.7 申请日: 2021-09-27
公开(公告)号: CN113900053B 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 黄见秋;魏振宇;黄庆安;王立峰 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01R33/028 分类号: G01R33/028
代理公司: 南京众联专利代理有限公司 32206 代理人: 叶倩
地址: 210096 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于PT对称原理的MEMS谐振式磁场传感器及其使用方法,包括左谐振器和右谐振器,所述左谐振器和右谐振器呈左右镜像对称结构,且通过耦合弹簧相连接;左谐振器和右谐振器分别外连阻尼调制电路,阻尼调制电路控制左谐振器和右谐振器的等效阻尼大小相等,符号相反,形成PT对称谐振器系统;还包括左直流电源和右直流电源,所述左直流电源加载在左谐振器上,形成自上向下的直流电流,所述右直流电源加载在右谐振器上,形成自下而上的直流电流,在洛伦兹力的作用下,左右谐振器之间的耦合系数改变,进而改变了PT对称谐振系统的谐振频率,通过阻尼大小调制,使得PT对称谐振器系统工作在耦合系数和损耗参数相等的奇异点,大幅度提高传感器的敏感度。
搜索关键词: 一种 基于 pt 对称 原理 mems 谐振 磁场 传感器 及其 使用方法
【主权项】:
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