[发明专利]一种基于PT对称原理的MEMS谐振式磁场传感器及其使用方法有效
申请号: | 202111137121.7 | 申请日: | 2021-09-27 |
公开(公告)号: | CN113900053B | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 黄见秋;魏振宇;黄庆安;王立峰 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01R33/028 | 分类号: | G01R33/028 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 叶倩 |
地址: | 210096 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于PT对称原理的MEMS谐振式磁场传感器及其使用方法,包括左谐振器和右谐振器,所述左谐振器和右谐振器呈左右镜像对称结构,且通过耦合弹簧相连接;左谐振器和右谐振器分别外连阻尼调制电路,阻尼调制电路控制左谐振器和右谐振器的等效阻尼大小相等,符号相反,形成PT对称谐振器系统;还包括左直流电源和右直流电源,所述左直流电源加载在左谐振器上,形成自上向下的直流电流,所述右直流电源加载在右谐振器上,形成自下而上的直流电流,在洛伦兹力的作用下,左右谐振器之间的耦合系数改变,进而改变了PT对称谐振系统的谐振频率,通过阻尼大小调制,使得PT对称谐振器系统工作在耦合系数和损耗参数相等的奇异点,大幅度提高传感器的敏感度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 pt 对称 原理 mems 谐振 磁场 传感器 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
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