[发明专利]高散热垂直腔面发射激光器及其制作方法有效
| 申请号： | 202111027071.7 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113725729B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 蔡文必;曾评伟 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/343;H01S5/042;H01S5/024 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 何少岩 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请提供一种高散热垂直腔面发射激光器的制作方法，将砷化镓衬底正面的出光孔圈区域刻蚀至不超过衬底厚度，并于刻蚀位置沉积砷化铝层。在衬底正面外延生长N‑DBR层、MQW层和P‑DBR层，并在P‑DBR层形成内部构成出光孔径的氧化层。该制作方法可以在外延生长前生长砷化铝层，在MQW层累积的热量向下传导时由于砷化铝的导热系数优于砷化镓，其散热传导至背面金属电极效率更高、散热更快，进而提升整个器件的散热性能，并且砷化铝和砷化镓晶格常数相匹配，对衬底进行刻蚀并沉积砷化铝层后进行外延生长的影响也较小。本申请还提供一种高散热垂直腔面发射激光器，通过形成于衬底的刻蚀凹槽内的砷化铝层可以提升器件的散热能力。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 垂直 发射 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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