[发明专利]一种芯片转移方法及承载基板在审

专利信息
申请号: 202110996707.2 申请日: 2021-08-27
公开(公告)号: CN115732527A 公开(公告)日: 2023-03-03
发明(设计)人: 范春林;蔡明达;汪楷伦;汪庆;詹蕊绮 申请(专利权)人: 重庆康佳光电技术研究院有限公司
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L33/00;H01L33/62
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人: 李发兵
地址: 402760 重庆市璧*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明涉及一种芯片转移方法及承载基板。利用带有凹槽的承载基板转移并承接生长衬底上脱落的LED芯片,在分离生长衬底与LED芯片之前,并不要求LED芯片在与承载基板建立固定连接,这样在利用激光剥离LED芯片之前,先在LED芯片与承载基板的槽底间预留间隙,以便后续LED芯片脱离生长衬底后,该间隙可以转移到LED芯片与生长衬底之间,形成供N2通过的通道,实现了N2有序排放,避免了N2因缺少排泄通道而冲击损坏LED芯片的问题,提升了LED芯片的转移良率。同时,因为承载基板利用凹槽对落下的LED芯片进行限位,可以不需要使用胶材粘接LED芯片,避免了后续胶材残留于LED芯片上的问题,有利于提升LED芯片的出光效果。
搜索关键词: 一种 芯片 转移 方法 承载
【主权项】:
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