[发明专利]一种环保型氧化铌靶材的加工工艺及其装置有效
| 申请号： | 202110852883.9 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113564545B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李文彬;李玉科;刘夏吟 | 申请（专利权）人： | 杭州阿凡达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;B33Y10/00 |
| 代理公司： | 杭州信与义专利代理有限公司 33450 | 代理人： | 马育妙 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市钱*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环保型氧化铌靶材的加工工艺，包括制备氧化铌和金属铌的金属混合液，制备雾化颗粒，经过干燥、筛料和混匀后，利用3D打印机制备氧化铌靶材坯料，最后经过精加工处理，得到氧化铌靶材成品，涉及靶材加工技术领域；通过将氧化铌粉末和金属铌粉末熔化后形成金属混合液，采用气雾法对金属混合液进行造粒，相较于采用传统的磨粉机进行磨粉后混合造粒，一方面能够有效提高原料颗粒的密度，同时提高原料颗粒的均匀度，另一方面造粒工艺效率高，且成本消耗较低，无需对原料粉体进行纳米化，解决了原料粉体逸散浪费的问题，最后采用3D打印机进行氧化铌靶材坯料的制备，能够大幅提高氧化铌靶材的致密性，保证氧化铌靶材成品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环保 氧化 铌靶材 加工 工艺 及其 装置 | ||
【主权项】：
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