[发明专利]一种适用于坩埚的面蒸发源结构在审
| 申请号： | 202110852132.7 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113388815A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张麒麟 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种适用于坩埚的面蒸发源结构，其包括至少两个坩埚腔室，每个坩埚腔室放置一个坩埚和对应的子蒸发源，子蒸发源包括热电偶和加热丝，加热丝均布在坩埚腔室内侧壁，热电偶安装在坩埚腔室的底部；坩埚腔室的上端设有盖板，盖板上对应基板区域设有盖板通孔，盖板与坩埚接触的内表面设有加热装置；坩埚包括坩埚本体和上盖，坩埚本体由分隔板隔成若干独立区域，上盖间隔分布有若干开孔，上盖对应非映射基板区域设有至少一个斜孔，沿斜孔方向设置镀率检测仪器，镀率检测仪器检测沿斜孔扩散的蒸镀材料以获取坩埚材料镀率；坩埚的开孔与盖板通孔相对应，且坩埚开孔直径小于盖板通孔的直径。本发明有利于提高蒸发源内材料受热均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 坩埚 蒸发 结构 | ||
【主权项】：
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