[发明专利]半色调掩膜板、显示基板的制作方法及显示基板

摘要

本发明提供一种半色调掩膜板，所述半色调掩膜板包括金属遮光图形，所述金属遮光图形包括多个图形部，所述金属遮光图形还包括静电释放导线，至少一对相邻的图形部之间连接有所述静电释放导线，对于至少一对被所述静电释放导线电连接的图形部而言，至少其中一个图形部包括图形部本体和形成在所述图形部本体的边缘处的缺口，所述静电释放导线的端部伸入所述缺口中，并与所述图形部本体电连接。通过半色调掩膜板上的缺口结构，能够降低半色调掩膜板本身的ESD风险，且能改善曝光后显示基板金属图形上的毛刺影响，也降低了多层搭接场景由于毛刺引起的ESD风险。本发明还提供一种使用所述半色调掩膜板的显示基板的制作方法及一种由所述方法制得的显示基板。