[发明专利]一种用于TFT模组加工的上料清洗装置有效
| 申请号： | 202110691261.2 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113319047B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 赵建国;易海兰 | 申请（专利权）人： | 星源电子科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;F26B5/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥信诚兆佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34159 | 代理人： | 崇鑫 |
| 地址： | 518132 广东省深圳市光明区玉塘街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及TFT显示技术领域，公开了一种用于TFT模组加工的上料清洗装置，包括工作台，工作台上矩形阵列分布有若干卡孔，卡孔内设卡接单元、用以卡接TFT基板；清洗机构，清洗机构包括若干根水平设于工作台上、下两侧的清洗管，清洗管沿工作台的宽度方向设置、并与卡孔的列数相同，清洗管的外侧沿其轴向安装有多个喷头，且清洗管的一端设置进液口、并连接外部供液机构；调节机构，调节机构与卡孔的列数相同，其用于调节相对设置在工作台上、下两侧的两根清洗管，以调整清洗管上喷头的喷液方向。本发明方便对TFT基板进行清洗，清洗量大，能够同时对TFT基板的两侧进行清洗，提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 tft 模组 加工 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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