[发明专利]一种光刻胶酸敏树脂单体及其合成方法和应用在审

专利信息
申请号: 202110688844.X 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN113620921A 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 傅志伟;潘新刚;薛富奎;纪兴跃;刘司飞 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07D317/32 分类号: C07D317/32;C07D317/72;G03F7/027
代理公司: 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 代理人: 王金良
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种光刻胶酸敏树脂单体及其合成方法和应用,所述光刻胶树脂单体的结构式为:其中R1为甲基或者氢,R2和R3独立的为氢或者烷基,或者R2和R3之间通过共价键形成碳原子数3‑15的环状结构,R4为酸敏基团。该树脂单体能提高分辨率,减小线宽粗糙度,粘附力好,耐刻蚀。
搜索关键词: 一种 光刻 胶酸敏 树脂 单体 及其 合成 方法 应用
【主权项】:
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