[发明专利]一种多结分布反馈半导体激光器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110636880.1 申请日: 2021-06-08
公开(公告)号: CN113422295A 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 罗毅;王健 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: H01S5/323 分类号: H01S5/323;H01S5/343;H01S5/12
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 王萌
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请提出一种多结分布反馈半导体激光器,包含衬底及在衬底表面上生长的激光器DFB‑LD功能层;所述DFB‑LD功能层中包含多个半导体PN结和光栅;所述多个半导体PN结之间上下分布并且相互电连接,且每个PN结的结区均有发光区;所述光栅位于所述任意一个半导体PN结或半导体PN结之间的连接层。该DFB‑LD可以增加激光器的有效发光面积,改善波导截面横向光场分布的对称性,降低激光器的寄生电容参数,从而兼具高功率、高调制速率、高光纤耦合效率的优点。
搜索关键词: 一种 分布 反馈 半导体激光器 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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