[发明专利]一种多结分布反馈半导体激光器及其制备方法在审
申请号: | 202110636880.1 | 申请日: | 2021-06-08 |
公开(公告)号: | CN113422295A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 罗毅;王健 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01S5/323 | 分类号: | H01S5/323;H01S5/343;H01S5/12 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 王萌 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请提出一种多结分布反馈半导体激光器,包含衬底及在衬底表面上生长的激光器DFB‑LD功能层;所述DFB‑LD功能层中包含多个半导体PN结和光栅;所述多个半导体PN结之间上下分布并且相互电连接,且每个PN结的结区均有发光区;所述光栅位于所述任意一个半导体PN结或半导体PN结之间的连接层。该DFB‑LD可以增加激光器的有效发光面积,改善波导截面横向光场分布的对称性,降低激光器的寄生电容参数,从而兼具高功率、高调制速率、高光纤耦合效率的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 分布 反馈 半导体激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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