[发明专利]一种高功率分布反馈激光器有效
申请号: | 202110583304.5 | 申请日: | 2021-05-27 |
公开(公告)号: | CN113328339B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 陆巧银;向敏文;国伟华 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01S5/125 | 分类号: | H01S5/125 |
代理公司: | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人: | 周新楣 |
地址: | 430074 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开一种高功率分布反馈激光器,包括反射区、有源区和无源区,有源区、无源区和反射区内由下至上依次设置有下电极层、下波导盖层、无源波导层和上波导盖层,有源区的无源波导层和上波导盖层之间由下至上依次设置有有源层和有源波导层,有源波导层上设置有相移区,反射区和无源区一端设置有增透膜;上波导盖层上形成有脊波导结构,有源区内脊波导上由下至上依次设置有欧姆接触层和上电极层;有源层包括由下至上依次设置的下分别限制层、量子阱和上分别限制层,有源区的有源波导层和反射区的无源波导层均刻有布拉格光栅。反射区光栅可以精确控制相移,因而降低了器件的制作成本,提高了器件的边模抑制比。 | ||
搜索关键词: | 一种 功率 分布 反馈 激光器 | ||
【主权项】:
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