[发明专利]一种显示面板的制作方法及显示面板在审
| 申请号： | 202110578491.8 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113345837A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 罗传宝 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12;H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种显示面板的制作方法及显示面板，不额外增加遮光层制程，作为源漏极的金属层同时充当遮光层，可以节约一道mask。有源层通过过孔与源极、漏极和遮光层连接，且该有源层为半导体层，在有源层上形成第一栅极绝缘层和栅极层，该有源层包括与第一栅极绝缘层接触的沟道区有源层和其他的非沟道区有源层。再在非沟道区有源层和栅极层上形成金属薄膜，通过热氧化工艺使金属薄膜夺取非沟道区有源层中的氧，而被氧化成致密的金属氧化物作为水氧阻隔层，该水氧阻隔层能够隔绝水氧对薄膜晶体管的影响，同时在该热氧化工艺中非沟道区有源层失去氧被导体化成导体层，可以实现非沟道区有源层与源漏极和遮光层的导通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 面板 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
