[发明专利]一种曲面异形MEMS二维扫描微镜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110561169.4 | 申请日： | 2021-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN113341560B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 周同;庞博;郭俊幸 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 封睿 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种曲面异形MEMS二维扫描微镜，包括外框、内框、线圈、曲面镜面、快轴以及慢轴，曲面镜面位于整体结构的中心，通过快轴与内框相连接，内框通过慢轴与外框连接，其中：曲面镜面采用球冠面，为一个球面被平面所截后剩下的曲面；线圈采用内置方式，由外置永磁体提供与微镜成45°的磁场，通过Z方向的洛伦兹力控制快轴及慢轴的扭臂梁的扭转，实现慢轴、快轴即Y轴、X轴的扫描；曲面异形二维扫描微镜在电磁力的控制下，在X、Y轴实现周期性、高频率摆动。本发明采用曲面异形结构，用曲面镜代替平面镜，极大地增加了MEMS二维扫描微镜的扫描视场，增大了激光雷达的扫描角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲面 异形 mems 二维 扫描 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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