[发明专利]一种内嵌双MOS触发的SCR-LDMOS型ESD保护器件

摘要

本发明公开了一种内嵌双MOS触发的SCR‑LDMOS型ESD保护器件，当ESD信号作用于新型SCR‑LDMOS结构阳极时，一方面，新结构中的双MOS结构(PMOS+NMOS)引入的P+/N‑buffer结取代了传统SCR‑LDMOS结构中的P‑body/N‑epi结发生雪崩击穿，降低了器件的触发电压，另外PMOS还辅助NMOS通道开启泄放ESD电流；另一方面，内嵌双MOS触发SCR‑LDMOS结构中存在的PMOS‑NMOS通道可以对SCR‑LDMOS电压进行箝位，抑制器件内部正反馈效应，提高器件维持电压。此外，相比于传统结构，新结构引入了PMOS‑NMOS通道，电流泄放能力也得到了进一步提高。