[发明专利]一种蒸发速率智能可调的蒸发镀膜机有效
| 申请号： | 202110555386.2 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113215535B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李成林;杜雪峰;郝明 | 申请（专利权）人： | 泊肃叶科技（沈阳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110142 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发速率智能可调的蒸发镀膜机，主要包括镀膜室、线性蒸发源、控制系统、膜厚检测装置和真空系统；线性蒸发源包括二级坩埚、送丝机构和一级坩埚；二级坩埚为长条槽状体；沿镀膜幅宽方向并排布置有2个以上的送丝机构，每个送丝机构的下方均设置有1个一级坩埚；二级坩埚位于一级坩埚的下方；一级坩埚的底部设置有熔液流管，熔液流管的另一端与二级坩埚侧壁相通，在熔液流管上设置有流量控制阀；二级坩埚上设置有2组以上的电极，二级坩埚上不同段的加热可进行分段控制；膜厚检测装置设置在镀膜路径的下游，可对基底上沉积的膜层进行膜厚检测；控制系统会实时获取膜厚检测数据，并根据膜厚检测数据对线性蒸发源进行智能调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 速率 智能 可调 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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